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非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解析
二酸化ケイ素（SiO2）は半導体における絶縁膜・FPDの基板材料・光学材料・医療機器から装身具に至るまで幅広く用いられていますが、非晶質であるガラスとして構造解析を行うことは非常に困難です。ガラス中でSiO2が環状に結合することに着目し、ラマン測定を行いました。（図1） 単結晶石英ではガラス状態のスペクトルとは著しく異なり、長距離秩序によるフォノンバンドが観測されます。（図2、 図3）
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS： Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。 ・全元素範囲（B～U）の同時分析が可能（付属装置によりBeの検出も可） ・0.1nmφ～の細い電子線プローブで測定が可能 ・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能 ・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能
AES：オージェ電子分光法
AES分析では、微小異物の最表面の元素組成評価を行うことが可能なため、微小領域における異物分析に有用です。しかし、電子線等のダメージの影響により異物が変化したり消失してしまう可能性があります。 特に、ハロゲン元素等を含む場合は、その影響を強く受けてしまうことがあり注意が必要です。SEM観察時やAES測定時に異物が消失してしまった事例として、Siウエハ上のNaCl粒子について、AES分析を行った結果を示します。
目的に合わせた測定条件で評価を行います
LEDやパワーデバイスに用いられるGaN膜について、XPSを用いて組成・結合状態を評価した例を紹介します。成膜条件や表面処理等により、組成や結合状態がどのように変わるのかを把握しておくことは、プロセス管理等に有効です。 評価の際は、目的に応じて使用するX線を適切に選択することが重要です。着目ごとの測定条件を併せてご紹介します。
試料面内における炭素の結晶状態分布を評価可能です
工業部品や医薬器具など幅広く使用されている炭素材料は構造・結晶性によって異なる性質を持つため、その状態を評価することが重要です。 本資料では、高感度・高空間分解能のRaman（ラマン分光法）を用いた評価事例をご紹介します。炭素材料であるグラファイトの結晶状態分布を、マッピングにより可視化しました。欠陥量の多い・少ないを視覚的に捉えることができています。
材料の価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位の詳細な情報が得られます
材料の様々な特性を制御するにあたって価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位といったバンド構造の把握は極めて重要な評価項目となっていますが、それらを直接的かつ詳細に評価する分析手法は限られています。放射光を用いたX線吸収分光(XAS)とX線発光分光(XES)の同時測定からはバンド構造の全容が把握できると共に、それらを構成する元素・軌道の帰属といった詳細な情報も得ることが可能です。 本資料では測定例としてGaN基板のXAS・XESスペクトルをご紹介します。
表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です
ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。 本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで評価した例を示します。結果より、有機多層膜は四層で構成されていることが分かりました。また、ライブラリデータとの照合により、各層の成分が同定できました。
SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法です。
・試料中の特定元素（特にB,C,N,O等の軽元素）に着目した化学結合状態の評価が可能 ・スペクトル形状は価電子帯における着目元素の部分状態密度を反映 ・X線吸収スペクトル（XAS）との同時測定によってバンド構造の評価も可能 ・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい ・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能 ・検出下限が低く（＜1atomic%）、微量成分であっても評価が可能
低分子-タンパク質間相互作用の有無・強弱を分析
飽和移動差(STD : Saturation Transfer Difference) NMRは、タンパク質と相互作用を示す低分子化合物を識別するNMRの分析法の一種で、薬剤のスクリーニング等に大きな威力を発揮します。本資料では、実際にSTD-NMR測定を用いて複数の化合物群より特定のタンパク質と相互作用を示す化合物を同定した事例を紹介します。 測定法：核磁気共鳴分光法(NMR) 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品・化粧品・食品 分析目的：スクリーニング、ドラッグデザイン、相互作用評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
非破壊で材料・結晶性の面内分布を可視化可能です！
弊団では、ラマンマッピングによる炭素材料の結晶性評価を承っております。 炭素材料は構造・結晶性によって異なる性質を有しており、工業部品や 医療器具など様々な用途で使用。材料開発の指標として、材料の特性と 結晶性を紐づけることは有効です。 本資料では、部品表面に塗布された炭素材料であるダイヤモンド粒子の 面内分布(ピーク強度)および各ダイヤモンド粒子の結晶性(半値幅)を ラマンマッピングにて評価した事例をご紹介いたします。ダイヤモンドは 1330cm-1に鋭いピークが感度良く観測され、ラマンでの評価が有効です。 【測定法・加工法】 ■[Raman]ラマン分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
バインダー・被膜から活物質まで、サンプル本来の状態のまま評価可能！
弊団では、二次電池正極の結合状態評価を行っております。 表面状態を分析する手法の一つであるXPSは、検出深さが浅い(～10nm) こと から、バインダーや導電助剤等の評価に好適。 HAXPESは硬X線(Ga線)励起で検出深さが深いため、バインダー等に埋もれた 活物質の情報をダメージレスに得ることが出来ます。 【測定法・加工法】 ■[XPS]X線光電子分光法 ■[HAXPES]硬X線光電子分光法 ■雰囲気制御下での処理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
持ち運び可能なコンパクトな形状と様々な分野での利用が可能！レンタル品のご紹介
株式会社レックスでは、非破壊検査機をレンタルしております。 『EnSpectr R532』は、ラボ機器の性能を兼ね備えた ポータブル高精度ラマン分光システムです。 対象物のスペクトルをリアルタイム表示。データベースと取得した スペクトルを比較し、短時間で物質の正体を同定します。 直感的なユーザーインターフェースを介して高精度なラマン分析が可能です。 【特長】 ■3パターンのスペクトルデータの可視化 ■対象物にあわせた4つのアタッチメント ■持ち運び可能な省スペース設計 ■様々な用途に使用可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
原材料確認に最適な、ドイツ製高性能ハンドヘルドラマン
卓越したパフォーマンスと洗練されたデザイン、直観的な操作性のグラフィカル・ユーザーインターフェースを搭載した大型タッチスクリーン。 BRAVOは、様々な原材料の受け入れ検査や品質管理を効率化する、高性能ハンドヘルドラマンです。
【技術資料進呈中】高感度性能と高波数精度を両立！コンパクトかつ堅牢な分散型顕微ラマンシステム
『SENTERRA II』は、品質管理等のルーチン分析から先端の研究分野まで対応する ブルカーならではの高性能システムです。 一般的なラマン顕微鏡では、分光器が顕微鏡と分離されたシステムがほとんどで、 性能を維持するために多くの時間を割く必要があります。 当製品は励起レーザー、分光器、顕微鏡が一体となったコンパクトかつ堅牢な 統合システムで、その効率的な光学設計により、高い性能と安定性を達成しています。 また、迅速に結果が得られるようにスムーズかつ的確にオペレーターをサポート。 試料の可視観察からスペクトル品位の確認、測定領域の設定まで、データ測定の 手順をステップごとにガイドします。 【特長】 ■高度に自動化された各種機能と効率的な操作性 ■コンパクト＆堅牢設計 ■効率性と柔軟性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
顕微ラマン分光法の基礎知識などを掲載！資料無料プレゼント中！
当資料は、共焦点顕微ラマン分光システム「SENTERRA II」による 複合材料の深さ分析について掲載している技術資料です。 顕微ラマン分光法の基礎知識をはじめ、2つのアプリケーション例を元に 共焦点顕微ラマン分光システムを用いた深さ分析の有用性について ご紹介しています。 【掲載内容】 ■はじめに ・顕微ラマン分光法 ・一般的な光学顕微鏡と共焦点顕微鏡の光学系違い ■共焦点光学系 ■顕微ラマン分光システム SENTERRA II ■アプリケーション例 ・注射器内のゲルの中の異物に関する定性分析 ・多層構造を有するラミネートフィルムの分析 ■まとめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
