非接触式 直径測定器（DMC-01型）
画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転することでオリフラ面の直径やノッチの深さにも対応します。 ・カメラ取り付け部分は上下方向に手動調整が可能な機構となっています。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
測定器×株式会社ジャステム - メーカー・企業と製品の一覧
測定器の製品一覧
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プレート上ウェーハ厚さ測定機 (TME-12型)
セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサにて非接触測定する装置です。
測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。 プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
厚さ測定機(TME-13型）
本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。 測定センサは分光干渉方式のセンサを用いて片側より測定を行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
