【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年09月17日~2025年10月14日
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
溶射皮膜は非常にち密!高融点のタングステン・セラミック等すべての材料が溶射可能
溶射プロセス『プラズマスプレー』をご紹介します。 高融点のタングステン・カーバイド・セラミック等すべての材料が溶射でき、 プラズマ火焔そのものが不活性であるのでアルミ、銅の様な低融点金属でも 純粋で酸化の少ない皮膜が得られます。 メタライジングと同様100℃前後の低温下で肉盛溶射が可能の為、母材への 熱影響や歪が起きません。 【特長】 ■高融点の材料の溶射が可能 ■溶射皮膜は非常にち密 ■硬質メッキなどと同等以上のハードでち密な皮膜が得られる ■母材への熱影響はほどんど無い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
材料特性を損なわず成膜! -表面処理・溶射技術のご紹介-
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 減圧プラズマ溶射(VPS:Vacuum Plasma Spraying) チャンバー内部の空気を高真空まで排気した後、アルゴンガスを封入し低真空雰囲気で行うプラズマ溶射法を 減圧プラズマ溶射法(VPS)と呼びます。この溶射法は次のような特徴を有しています。 ・材料特性が損なわれないため、設計通りの特性を持った皮膜が得られる。 ・Tiなどの活性金属の成膜ができる。 ・溶融粒子の飛行速度が大気中でのプラズマ溶射よりも速く、より緻密で高い結合力をもつ皮膜を得ることができる。 など、先端分野と深い係わりのある高機能皮膜形成には不可欠な溶射法です。 【応用例】 発電用ガスタービンローター エネルギー分野への応用 医療分野への応用 など 【技術資料一覧はこちら】 https://www.tocalo.co.jp/contact/download/?source=ipros
本カタログのツールでは、簡易的な質問に答えることで、溶射材料の選定目安を知ることができます!(新価値創造展2022に出展します)
当社の溶射は、50数年にわたる技術蓄積をもちます。 溶射は、金属・セラミックス・サーメットなど多様な皮膜を高速で形成するプロセスであり、航空機から一般家庭電化製品に至るまで広い分野で応用されています。 また、溶接と溶射の複合技術としてインコネル肉盛溶接等、周辺技術の拡充に意欲的に取組んでいます。 名古屋工場には、新しい高速フレーム溶射装置を導入しており、先端設備による溶射皮膜を提供いたします。 ■本カタログは、溶射の特徴等を簡単にまとめています。 また、溶射材料選定の目安を知ることができるツール付きです。 表面処理にお困りの方は、溶射を知るきっかけとしても、 カタログを是非ダウンロードください。
アルミナやジルコニア系皮膜より優れた耐スポーリング性を持っており、高温での耐久性とカーボン基材と製品の反応防止を実現します。
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐スポーリング性(熱衝撃や温度勾配による剥離に強い) 耐熱性 カーボン基材と製品の反応防止
アルミナやジルコニア系皮膜より優れた耐スポーリング性を持っており、高温での耐久性とカーボン基材と製品の反応防止を実現します。
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐スポーリング性(熱衝撃や温度勾配による剥離に強い) 耐熱性 カーボン基材と製品の反応防止
アルミナやジルコニア系皮膜より優れた耐スポーリング性を持っており、高温での耐久性とカーボン基材と製品の反応防止を実現します。
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:耐スポーリング性(熱衝撃や温度勾配による剥離に強い) 耐熱性 カーボン基材と製品の反応防止
「粉末式フレーム溶射」「溶線式フレーム溶射」「大気プラズマ溶射」の3つをご紹介!
溶射の種類と特長についてご紹介いたします。 「粉末式フレーム溶射」は、溶射される材料が予め粉末にされたものを 使用し、酸素アセチレン炎により溶融噴射し相手母材に吹き付け皮膜を 形成する溶射方法です。 このほかにも「溶線式フレーム溶射」「大気プラズマ溶射」があります。 【特長 粉末式フレーム溶射】 ■溶射される材料が予め粉末にされたものを使用 ■酸素アセチレン炎により溶融噴射し相手母材に吹き付け皮膜を形成 ■「超硬合金」も取り扱い可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
表面処理の一種。基材表面に付着・積層させて皮膜を形成する技術
溶射とは溶接・メッキ・PVDなどと並ぶ表面処理の一種です。 可燃ガスによる燃焼炎やアークによる電気エネルギーを用いて、材料を 溶融させて吹き飛ばし、基材表面に付着・積層させて皮膜を形成する技術。 当社ではエリコンメテコ社の溶射装置及び材料を用いて完全な メテコ溶射方式を採用しております。 【概要】 ■基材表面に付着・積層させて皮膜を形成する技術 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
部品加工から成膜まで一括受託はもちろんのこと支給材も承ります!セラミック、金属、サーメットなど豊富な膜種に対応可能です!
高機能材料を導入したい、、、。けれども高価すぎて手が出せない。そんな時には溶射で問題解決です!! 溶射はセラミック、金属、サーメットなど幅広い膜種に対応可能!現行使用している部品に溶射・成膜することで高機能材料と同様の効果が期待できます。 たとえば、「耐熱性」「耐磨耗性」「離型性」等を向上させたい。。。そのようなお困り事が御座いましたら是非溶射・成膜のご検討、またお気軽にご相談ください。当社の豊富な溶射・成膜実績で、最適な膜種をご提案いたします。
ほとんどの材質をコーティングできる溶射法
表面改質法の溶射法には、プラズマ溶射、爆発溶射、フレーム溶射、アーク溶射があります。皮膜材料は、金属・合金・セラミックス・ガラス・高分子材料があります。目的は表面硬化・耐熱・耐摩耗、特殊機能の付与です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
Ni系やCo系、Fe系はもちろんのこと、コバール(kovar)やパーメンジュール等の磁性材料のコーティングも可能です。
■溶射材料:金属系(ニッケル、カーバイド、鉄等) ■溶射方法:アーク溶射、プラズマ溶射、高速フレーム溶射 ■施工効果:下記に一例 ニッケルクロム・・・・・・・防食性(耐腐食性)、耐候性 タングステンカーバイド・・・高硬度、耐摩耗性 クロムカーバイド・・・・・・高温環境下での耐摩耗性、防食性(耐腐食性) 鉄・・・・・・・・・・・・・誘導加熱 アルミニウム・・・・・・・・防食性(耐腐食性)、耐候性、電気伝導性、熱伝導性 アルミマグネシウム合金・・・防食性(耐腐食性)、耐候性 銅・・・・・・・・・・・・・電気伝導性、熱伝導性 アルミブロンズ・・・・・・・耐酸化性、耐摩耗性、耐焼付性、加工性
各種セラミックを基本材料とし、スーパーエンジニアリングプラスチックを組み合わせた複合材料コーティングです
セラミックがもともと備えている優れた耐熱性や 硬度、遠赤外線効果、耐放射線性に、 スーパーエンジニアリングプラスチック(フッ素樹脂、PBIなど)の 非粘着性やすべり性を付加。 用途にあわせて、ほしい特性を効果的に引き出した表面処理を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【技術資料進呈】優れた寿命を示すボイラーチューブ。各種ローラ等に好適!
自溶合金溶射は、ニッケル基、コバルト基の合金に、ホウ素・ケイ素を 添加した自溶合金を溶射材料に用いて行う溶射です。 自溶合金は、溶射溶融によってピンホールのない溶着金属が得られます。 この合金は、耐摩耗性、耐腐食性、耐熱性に優れており、 ボイラーチューブ・各種ローラ等に適しています。 【溶射材料】 ■Ni系 ■Co系 ■WC系 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマ溶射
◆◇◆プラズマ溶射とは◆◇◆ プラズマ溶射ガンで生じるプラズマジェットを用いて溶射材料を 加熱・加速し、溶融またはそれに近い状態にして基材に吹き付ける 溶射のことです。図はプラズマ溶射ガンの原理を示します。 図中に示すように陰極と陽極間に電圧をかけ直流アークを発生させると、 後方から送給される作動ガス(アルゴンがスなど)が電離し、 プラズマを発生。そして、そのプラズマフレーム中に溶射粉末材料を アルゴンがスなどで送給し、溶射皮膜を形成します。