Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉
Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉
Φ３００ｍｍに対応した縦型の拡散炉です。 【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能ＬＧＯヒータ搭載
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
炉 - メーカー・企業45社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年07月23日～2025年08月19日
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炉のメーカー・企業ランキング
更新日： 集計期間:2025年07月23日～2025年08月19日
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- アドバンテック東洋株式会社 東京都/試験・分析・測定
- フルテック株式会社 大阪府/電子部品・半導体
- 株式会社正英製作所 奈良県/産業用機械 本社、東京支店、名古屋営業所、大阪支店、広島支店、九州支店
- 4 オガワ精機株式会社 東京都/商社・卸売り
- 5 株式会社広築 東京都/産業用機械 サーマルGr
炉の製品ランキング
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- 電気マッフル炉 FUL200シリーズ アドバンテック東洋株式会社
- 電気マッフル炉 FUWシリーズ アドバンテック東洋株式会社
- 真空熱分解式樹脂洗浄炉 『VACUCLEAN』 双日マシナリー 株式会社 環境・生活産業システム本部
- 4 流気式高温焼戻炉 RBM型／RH型 株式会社広築 サーマルGr
- 4 MIM、CIM専用『高温真空脱脂焼結炉』 DOWAサーモテック株式会社
炉の製品一覧
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枚葉式ＩＲ炉
雰囲気処理が可能！シビアなクリーン環境にも対応可能なＩＲ炉です
枚葉式のＩＲ炉です 【特長】 ◆ハイレベルなクリーン度 自己発塵の無いクリーンな構造により、高いクリーン性能を持っております。またシビアなクリーン環境を求められるアレイ基板の処理にも対応可能です。 ◆高い加熱効率 加熱効率に優れた、遠赤外線（ＩＲ）加熱方式を採用しており、あらゆる膜厚に対し高効率な処理が可能です。配向膜やパッシベーション膜など厚い膜の処理に最適です。 ◆優れた温度均一性 温度均一性にすぐれたＩＲパネルヒータを採用。第１０世代などの大型基板に対しても、均一な加熱を行うことができます。 ◆雰囲気処理が可能 炉内に窒素ガスを導入し低酸素濃度での加熱処理が可能です。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
活性化アニール炉『VF-3000H』
R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お使いいただけます。 また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。 【特長】 ■ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応 ■3～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応 ■炉内は当社独自のメタルフリー構造 ■ウェーハ近傍の温度モニターが可能 ■N2ロードロックを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
ミニバッチ縦型炉『VF-3000』
R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに 適しています。 【特長】 ■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応 ■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応 ■最大4個のカセットストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
ファニー
ファニー
ファニーｅＫＣＢシリーズは安全で扱いやすさを追求した小型タイプの電気炉です。 炉壁には高品質断熱レンガ、セラミックファイバー、スーパーボード、シリカボードを４層に重ね断熱保温効果を高めています。 発熱体は世界的に信頼性の高いスウェーデンのカンタルヒーター線を採用し、ヒーターの表面積あたりの負荷を低く抑えていますので丈夫で長寿命です。またヒーターはスパライル方式で溝に収納されていますので製品の出し入れや線の交換が容易です。 焼成温度の制御はプログラム式ＰＩＤ制御で安定した昇温とキープができ、プログラムの変更が簡単なので自分の焼成パターンを自由に組むことが出来ます。上扉の開閉は三箇所で止まりますので効果的な除湿、冷却ができます。オプションの還元バーナーをセットすれば本格的な還元焼成も出来ます。
- 企業：株式会社梶山工芸
- 価格：応相談
雰囲気制御一方向凝固炉『VFK-1800-BR』
粉体焼成から結晶成長までの多目的な使用が可能な雰囲気制御一方向凝固炉
『VFK-1800-BR』は、空気中で1800℃までのニ硅化モリブデン発熱体を 用いた高温電気炉に炉芯管及び、坩堝の昇降機構を加えた縦型昇降炉です。 炉芯管及び坩堝の昇降機構により、雰囲気を制御しながら、粉体焼成から 結晶成長（ブリッジマン法）までの多目的な使用が可能です。 プログラムコントローラからのイベント出力により、遅送りモータの駆動の 自動運転、停止ができ、温度とモータ駆動のプログラムがPC上で自在に 操作できます。 【特長】 ■粉体焼成から結晶成長までの多目的な使用が可能 ■遅送りモータの駆動の自動運転、停止が可能 ■温度とモータ駆動のプログラムがPC上で自在に操作可能 ■制御温度と炉内温度はPC画面上でモニターできる ■データ取りも簡単に操作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社クリスタルシステム
- 価格：応相談
千住金属工業 リフロー炉 SNR-850MB
マイクロボール専用微風循環式N２リフロー炉
SNRシリーズで好評の機能を搭載したマイクロボール実装用リフロー炉です。
- 企業：千住金属工業株式会社
- 価格：応相談
N2リフロー炉『SNR-GT II Series』
短時間でのメンテナンスが可能！環境調和にも配慮したリフロー炉です
『SNR-GT II Series』は、ダウンタイム削減に貢献する新型 フラックス回収ユニット・冷却機能を搭載したリフロー炉です。 ソルダペーストの特性を熟知した、当社ならではの フラックス回収システムを新たに開発。 複数のユニットを選択・組み合わせることで、長期間にわたり 回収効率を維持し、メンテナンスサイクル延長を可能とします。 【特長】 ■さらなる生産性の向上 ■環境調和への配慮 ■高機能を使いやすく ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：千住金属工業株式会社
- 価格：応相談
アルミニウム溶解保持炉『新型アルキープ NAK』
ベースモデル「アルキープ」のNAKが、耐久・操作性・省エネ化を更に進化させてリニューアル！
『新型アルキープ NAK』は、耐久性・操作性・省エネ性能をさらに 進化させたアルミニウム溶解保持炉です。 溶解バーナー廻りの大幅な形状変更により、材料投入時の衝撃、 及び熱負荷リスクを大幅に軽減。 保温性能に優れる特殊断熱材の採用により、炉壁からの放熱ロスを 大幅に削減させ、NAK独自のプール部効果と合わせて、保持バーナーは 最高レベルの省エネ化を実現しました。 【特長】 ■炉体形状を大幅にリニューアル ■燃焼ユニット採用 ■溶解・保持バーナーの同一化 ■ミニマナイズされた汲出口、特殊断熱材の採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
- 価格：応相談
アルミ手許溶解保持炉『アルキープ』
酸化物が激減！省エネ・省スペース設計のアルミ手許溶解保持炉をご紹介
『アルキープ』は、独自設計「溶湯プール部」で、アルミ手許溶解保持炉の 理想機能を実現したベストセラーモデルです。 溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーン。 SiC溶湯フィルターでは20μまでの介在物を95％以上除去でき、 自動ノロ掻き装置は溶湯表面の酸化皮膜を鋳造サイクル毎に自動で除去し、 鋳造品質向上に貢献します。 【特長】 ■溶解室で溶湯を昇温 ■溶湯は常にクリーン ■酸化物が激減 ■省エネ・省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
- 価格：応相談
アルミ手許溶解保持炉『バーチカルアルキープ』
鍛造工場の脱炭素化実現に最大限貢献できる溶解炉。溶湯の熱源に高効率ヒーターを採用したモデル。
『バーチカルアルキープ』は、高効率ヒーターを採用した 省エネ・省スペース化モデルのアルミ手許溶解保持炉です。 小型軽量の縦型浸漬ヒーターと発熱線のみ交換が可能なヒーターを採用。 保護管内温度を低くしても、今まで以上の出力が得られるのでヒーターが 長持ちします。 また、炉体表面温度と保持中の騒音が低減することで工場環境が良化し、 間接加熱により、H2ガス量、介在物も低減し溶湯品質が向上します。 【特長】 ■縦浸漬ヒーターで溶湯品質向上 ■溶解室プールで昇温することで高温溶湯流出 ■半輻射加熱でメタルロス低減 ■省エネ・省スペース ■排出ガスの大幅削減により企業様のカーボンニュートラル活動に大いに貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
- 価格：応相談
アルミニウム溶解保持炉『アルイッシュ』
ユニット構造で多彩なアレンジ可能！省エネ・省スペース設計のアルミニウム溶解保持炉
『アルイッシュ』は、異種合金生産に対応し、効率・品質・精度・安全性を 徹底追及した先進モデルのアルミニウム溶解保持炉です。 効率的にダイレクト溶解し、プール部から高温・清浄溶湯を供給。 ユニット構造で多彩なアレンジができ、保持炉溶湯は間接加熱と仕切板で 高品質且つ高精度です。 また、溶解炉、保持炉はそれぞれ独立している為、操業状況や設備更新時など 融通が図れます。 【特長】 ■効率的にダイレクト溶解し、プール部から高温・清浄溶湯を供給 ■保持炉溶湯は間接加熱と仕切板で高品質且つ高精度 ■ユニット構造で多彩なアレンジ可能 ■安全対策・燃焼制御管理も優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
- 価格：応相談
アルミ溶解保持炉をはじめとした各種工業炉をラインナップ
脱炭素化社会の実現に向けて… 省エネ貢献可能な工業炉をご提案いたします
エネルギー事業が根幹のTOKAIだからこそ、脱炭素化社会に向けた企業様のエネルギー低減活動をサポート致します。クリーン熱源へのエネルギー転換、ヒーターを付加した熱源のハイブリッド化、制御の工夫による省エネ化可能な運用方法等をご提案させて頂きます。
- 企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
- 価格：応相談
アルミ溶解炉『アルキープ・アルイッシュ・バーチカルアルキープ』
高機能・高品質のアルミ溶解炉。当社のベストセラーモデル"アルキープ3姉妹"をご紹介します
お客様の運用面・ニーズにお応えできる、多様性を備えたアルミ溶解炉の ベストセラーモデル"アルキープ3姉妹"のご紹介！ アルキープの最大の特長である独自設計の「溶湯プール部」を備え、 溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーンな状態を維持できます。 【アルキープ3姉妹】 ■アルキープ 当社独自設計の「溶湯プール部」を備えた元祖モデル。 溶解室の形状変更により、さらに耐久性・省エネ性がパワーアップ。 ■アルイッシュ 異種合金生産に対応した溶解室・保持室が独立したユニット構造。 ■バーチカルアルキープ 保持熱源に高効率ヒータを搭載。脱炭素化社会の実現に貢献する省エネモデル。 ※各製品の資料がPDFダウンロードからご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
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機械の小型化・乾燥の高速化を実現 ！ホットプレート乾燥炉
1/3～1/4の小型化で乾燥時間が1/3～1/4に短縮になった事例あり！多品種小ロットの乾燥炉に適した「超小型炉」
『WD-100シリーズ』は、省スペースと段取り替えの良さを追求した乾燥炉です。 対象基板サイズは50mm□～125mm□・厚みは0.2mmt~2mmt ホットプレートの高速加熱を最大限生かす、搬送システムの追求により、 高速搬送とダイレクト加熱を達成しました。 マルチサイズ、高速搬送、高速加熱、低フットプリントに対応しています。 【特長】 ■IR雰囲気炉と比べ、乾燥が最大10倍の早さ ■IR雰囲気炉と比べ、アイドルタイムが最短1/20に低減 ■溶剤回収でクリーン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社メック
- 価格：応相談
