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ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS 標準光源としてUV-LED光源を採用（生産性を落さずランニングコスト削減が可能！）
■ ８インチ以下は「一括露光方式」、 12インチは「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現 ■ 焦点深度が深い為、MEMS、RFフィルター業界に多数の 実績あり ■ TAIKOウエハにも対応 ■ グローバルアライメント方式 ■ 高剛性フレームにより、高精度アライメント露光が実現 ■ フォーカスマップ機構標準装備
高出力コンパクトスポット硬化システム
SunSpot 2は、次世代の高輝度超小型光硬化システムであり、業界の価格/性能リーダーです。 クラス最高の長寿命UV/可視アークランプとフィルター付き入力長寿命ライトガイドが示すように、低所有コストを念頭に置いて設計されています。 SunSpot 2は、使いやすい露光時間コントロールとフットペダル起動が特徴です。 重さわずか6ポンド、大きさ10.5 x 8.6 x 4インチで、このクラス最小のシステムです。 SunSpot の新しい200Wランプは、業界最高の強度を提供します。 UVAで18W/cm2以上、300-550nmで30W/cm2以上の出力で、このシステムは硬化速度を最大化し、高速生産自動化装置と互換性がある。 この高強度により、SunSpot 2は、2つ、3つ、または4つの硬化ゾーンに同時に光を供給するマルチポールライトガイドとの使用に理想的で、複数のランプシステムを必要としません。 このシステムには、高出力長寿命5mm x 1mの液体ライトガイドが付属しています。
人に配慮した紫外線で除菌を実現！有人モード＆センサーの安全機能を搭載。
『UV-PRO 222』は、UV光源モジュール「Care222(R)」を搭載した ウイルス抑制・除菌用UV照射器です。 有害波長をカットした、有人環境下で使用可能な紫外線を採用。 波長222nmの紫外線は、DNA、ENAを持つ様々なウイルスや細菌に働きかけ、 除去することができます。 また、薬剤と異なり薬への抵抗力を持った耐性菌を作りません。 【特長】 ■生体透過率が低い、人に配慮した紫外線 ■レイアウトフリーで壁面取り付けも可能 ■ヒトに悪影響を及ぼす230nm以上の波長をカット ■近接・人感センサーによるセーフティ機能搭載 ■別売りの三脚取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Heガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで簡単に実験可能！持ち運びが容易なハンディタイプのプラズマ照射装置！
ハンディタイプ 大気圧プラズマ照射装置「HAPYシリーズ」は、コンパクトで全ての機器をアタッシュケース内へ格納可能です。 Heガスボンベ / AC100V電源に接続するだけで実験ができます。 ガスリモート放電方式で、電気的ダメージを抑えたことで安全に様々な材料へプラズマ処理が行えます。 【特徴】 ○コンパクト ○簡易でHeガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで実験可能 ○持ち運びが容易なアタッシュケースサイズ ○ガスリモート放電方式 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高照度172nmエキシマランプ 管面照度150mW/cm²以上
【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】 ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能 【主な用途】 ・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング ・チップ、フィルム、基板接合面洗浄 【装置導入事例】 ・G8サイズTFT基板成膜前洗浄装置 ・ロールtoロール洗浄装置 ・レジストアッシング装置
市販されているほとんどのUV樹脂に適したUVA放射線(300～420nm)を放射！
『VK-UV-1515』は、太陽電池の光電極と対電極を接着するために 使用される紫外線硬化樹脂の硬化処理を行うUV照射装置です。 マイクロコントローラベースの内蔵タイマーにより、 UV照射時間を正確に制御し、ランプの総使用量を記憶。 搬送ベルト全体に取り付け、自動生産ラインに統合するための リモート操作用にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■最大150×150mmサイズのサンプルをサポート ■均一な照射を実現するためにサンプルは回転テーブル上に設置 ■市販されているほとんどのUV樹脂に適したUVA放射線(300～420nm)を放射 ■UV照射時間を正確に制御し、ランプの総使用量を記憶 ■自動生産ラインに統合するためのリモート操作用にカスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
選べる3タイプをラインアップ！
『ASM2501』は、ランプから放出される紫外線の照射を行う事に より、UV硬化性の樹脂・接着剤・塗料・レジスト等が瞬時に光重合 反応をおこすハンディタイプのUV硬化装置です。 瞬間硬化で作業時間が短縮され、小型・軽量設計で作業の効率化を はかります。 選べる3タイプのランプをラインアップしており、硬化目的に合った ランプをお選びいただけます。 【特長】 ■瞬間硬化 ■作業時間短縮 ■小型 ■軽量設計 ■省スペース ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
化繊・不織布といった基材などにも使用可能！基材表面の濡れ性改質にご使用ください
「コロナ処理装置」とはフィルムなどの基材表面をコロナ照射することにより 濡れ性の改質をするものです。 コロナ処理はUV照射装置と異なり、表面を傷つけずイオンによって 被膜させるため、さまざまな基材に適合することが可能。 インクや接着剤が油性から水溶性に変わりつつありますが、水溶性の場合、 コロナ処理（コロナ表面処理）を十分におこなうと表面改質され印刷や 接着ムラが起こりません。 【特長】 ■シングルバックプレートで支える片持式デザイン ■ほとんど全ての印刷機に合う取付方式 ■並列セラミック電極で効果あるコロナ照射 ■片面、両面、三面コロナ照射 ■アクセスし易く、ウェブ通し、クリーニングが容易 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
風や水面に揺れる幻想的なイルミネーション。省エネで尚且つ熱を持たないため、植栽にも安心してご利用いただけます。
『光ファイバー水上花』は、美しく咲くサガリバナが水面をただよう様子をイメージしたイルミネーションです。 【特徴】 ■風や水面に揺れる幻想的なイルミネーション ■光が水面に乱反射し、幻想的な雰囲気を演出 ■一般的なイルミネーションより省エネ ■植栽にも安心して利用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
狭い場所から広い場所まで！和をテーマにデザインしたイルミネーション
『竹の和風イルミネーション演出』は、湯気・波・泡・花をテーマに デザインした竹のイルミネーションです。 和の趣を感じるイルミネーションでお客様をおもてなします。 狭い場所から広い場所まで用途に合わせて自由に配置できるほか、 消費電力が少なく光源の寿命が長いLEDを使用しているため経済的です。 【特長】 ■湯気・波・泡・花をテーマにデザインした竹のイルミネーション ■和の趣を感じる ■狭い場所から広い場所まで用途に合わせて自由に配置可能 ■情緒あふれる ■消費電力が少なく光源の寿命が長いLEDを使用 ■経済的 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
不思議な光景に人々の足を止め興味を誘う！アイキャッチ用 サイン照明の事例
人々が行き交う路面上にゴボ照射器でマークや花束などを象徴的に あしらった光のイメージ模様を投影、ブライダルの投影系演出の 事例をご紹介いたします。 この光のイメージ模様は、回転したり前後左右に移動します。 その不思議な光景に人々の足を止め興味を誘います。 【事例】 ■アイキャッチ用 サイン照明 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
繊細な光がしとやかに輝く！光ファイバーを使ったイルミネーションのご紹介
株式会社ミューでは、ライトアップ演出、イルミネーションをはじめ、光や音、 映像を使用した演出をご提供しております。 水上花をイメージして水に浮かべた、光ファイバーイルミネーションのご紹介です。 花びらのように放射状に広がった光が水面へ鏡面反射し、風や水流により ゆらゆら揺れながら光ります。 光が2色ずつ変化していき、水上全体をフルカラーに彩ります。華やかな雰囲気や 幻想的な雰囲気など、色味による表情の変化をつけた演出が可能です。 【事例】 ■施設：店舗・商業施設 ■水面に咲いたさがり花と云う花をイメージしたイルミネーション ■水面に反射しながらゆっくりと色変化 ■ゆらゆら揺れる神秘的なかがやきを放つ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
風に揺れ煌めくファイバー草原！光ファイバーを使ったイルミネーションの事例をご紹介
やわらかな光が風にそよぐ草原を演出した「ファイバー草原」は、約13,000本の 小さく控えめな光が植栽とともに風にゆれ、あたり一面に広がります。 光ファイバーを使った草原は、黄から碧へ、碧から白へと ゆっくり変化していき 見る人を飽きさせないイルミネーションです。 また、光ファイバー自体は熱を持たないため植栽を傷めません。半透明で目立たない ファイバーは、昼間は植栽の自然な姿をそのまま楽しむことができます。 防水・耐熱性に優れたBOXを使用し、光源器を設置します。 【事例】 ■施設：店舗・商業施設 ■ゆっくり変わるグラデーションカラー ■風に揺れ儚く煌めくファイバー草原 ■見る人を飽きさせないイルミネーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光ファイバーイルミネーションを用いた空間演出の事例をご紹介！噴水などの水の近くでも使える照明器具
株式会社ミューは、ライトアップ演出、イルミネーションをはじめ、 光や音、映像を使用した演出をご提供しております。 店舗・商業施設での空間演出の事例をご紹介します。 水に適した光ファイバーでデザインした新しいイルミネーションは、螺旋状に 垂れる特殊にカールした光ファイバーが美しい輝きを放ち、ランダムに混ぜた クリスタルビーズが乱反射して氷のような幻想的な光を表現します。 【事例】 ■施設：店舗・商業施設 ■噴水の水辺に適した光ファイバーイルミネーション ■特殊な技法でカール状にした光ファイバー ■ランダムにクリスタルピースを混ぜた螺旋状のオブジェ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置
大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため 厚みのある基板（試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併用することにより 高いクリーニング効果を得られる ○基板（試料）セット後の処理は自動運転が可能です ○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理 的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為 有機汚染物質の再付着が起こらない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
