顕微分光膜厚計のメリット
反射分光法と他の測定手法の比較
反射分光法は他の膜厚測定方法と比較して、薄膜対応、測定時間、非接触性、前処理や検量線不要、多層膜対応、光学定数解析などの点でメリットがございます。 一度お試し測定をしてみてはいかがでしょうか?
- 企業:大塚電子株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年10月08日~2025年11月04日
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反射分光法と他の測定手法の比較
反射分光法は他の膜厚測定方法と比較して、薄膜対応、測定時間、非接触性、前処理や検量線不要、多層膜対応、光学定数解析などの点でメリットがございます。 一度お試し測定をしてみてはいかがでしょうか?
約1.1kgの持ち運べる膜厚計。最薄0.1μmから最大100μmまで、検量線不要で操作簡単 <デモ機を無料貸し出し中>
『SM-100 series』は高精度かつ簡単に持ち運び・操作ができる膜厚計です。 現場での抜き取り検査や成膜条件の検討にも柔軟に対応が可能。 基材(ガラス・プラスチック)を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で測ることができます。 ■持ち運び可能なハンディタイプ ■高精度測定&簡単測定 ■多層膜も対応 ■非破壊・非接触測定 ■様々なサンプルを測定 ※詳しくは<PDFダウンロード>より資料をご覧ください。 デモ機を無料貸し出し中!<お問い合わせ>よりお申し込みいただけます。
薄膜から厚膜まで高精度に測定が可能な顕微分光膜厚計『OPTM』
反射率スペクトルは、同種材質の膜であっても、膜厚値の違いにより図のような異なる波形になります。 膜厚が薄い場合、図左側のようなスペクトルを示し、より厚くなると図中央から右側のようなスペクトルへと変化します。 これは光干渉現象によるものです。 大塚電子の膜厚計では高精度で高い波長分解能を持つ分光計測が可能で、正確に絶対反射率スペクトルを求めることができます。 これにより材質の持っている光学定数(n:屈折率、k:消衰係数)の解析も可能になります。
お持ちの顕微鏡とドッキングも可能!顕微鏡膜測定と2D分光放射オプションとの組み合わせで詳細な面内の膜厚分布の測定も可能です。
『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT(フ-リエ変換膜厚計)や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 オプションでは、顕微鏡膜測定や非透過サンプル膜厚測定も可能です。 顕微鏡膜測定では、カラーフィルターのRGBパターンや基板上の配線パターン等、 マクロでは測定が困難な微細領域の膜厚測定を行えるように、 顕微鏡を使用して測定スポットサイズを小さくし測定できるようにします。 非透過サンプル測定では、空気層の厚みを測定することで 非透過サンプルの厚みを測定、演算します。 通常、光の干渉を用いる測定方式では、 非透過サンプルの膜厚測定はできませんが、 本測定方式を用いることで測定が可能となります。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【レンタルなら最短で当日発送】反射分光式膜厚計はSiO2膜やITO膜、AR膜など光を透過する膜の厚さ測定や透過率の解析にオススメ
反射分光式膜厚計は光干渉式膜厚計や光学式膜厚測定機などとも呼ばれ、透明薄膜表面の反射と裏面の反射による干渉を利用し非接触で膜厚を測定する手法です。 あすみ技研では、高額な装置を導入するのではなく、使い方にあった 利用をご提案し、失敗のない装置の選定をお客様にしていただくために 反射分光式膜厚計のレンタルをご提案します。 まとまった予算が無くても、抑えた金額ですぐご利用でき、 短期的な研究や装置故障の為、一時的なご利用も可能。 専用ソフトはインストール済みで、USBケーブル等の接続だけで すぐご利用できます。使い方など不明点は当社オペレーターが 電話で対応いたします。 【レンタルのメリット】 ■お試しで利用可能 ■購入する前に、操作性や機能をじっくり評価できる ■購入と異なり、煩雑な社内決済が比較的容易 ■固定資産税の納付や減価償却の事務処理が不要 ■校正の手間や附属PC ソフトの管理、アップデート、 OS 管理等手間が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。