角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION
開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
インサート×VAT株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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角型ゲート/インサート MONOVAT
200 300 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。
-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
ビームストッパー/ビームストッパー インサート
フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用
-水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし -工業用 -UHV対応
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
