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大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクス実現
P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる 今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい 大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。 【特徴】 ・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング ・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz） ・標準セットリング時間約6ms ・ストローク100μm ・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現 ・分解能～0.3nm ・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ダイレクト計測機能を備える高ダイナミックナノポジショナー／スキャナ
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、 XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。 【特徴】 ○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ○ストローク～200μm ○サブナノメートルの分解能 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○センター開口部 66 x 66mm ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、 サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、 100 x 100μmのリニアストロークを実現します。 【特徴】 ○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御 ○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部 ○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
