【技術解説】 ヴァイサラHUMICAP相対湿度センサ
優れた長期安定性を持った高分子薄膜静電容量式センサ
1973年、ヴァイサラは高分子薄膜静電容量式湿度センサHUMICAPを開発しました。以来、ヴァイサラは相対湿度計測の市場をリードするメーカーへと成長を遂げ、高分子薄膜静電容量式湿度センサは一企業の新技術から業界のグローバルスタンダードへと進化しました。
- 企業:ヴァイサラ株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年09月24日~2025年10月21日
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優れた長期安定性を持った高分子薄膜静電容量式センサ
1973年、ヴァイサラは高分子薄膜静電容量式湿度センサHUMICAPを開発しました。以来、ヴァイサラは相対湿度計測の市場をリードするメーカーへと成長を遂げ、高分子薄膜静電容量式湿度センサは一企業の新技術から業界のグローバルスタンダードへと進化しました。
独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス
表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス。
独自開発の自動補正機能を備えた高分子薄膜センサ
1997年、ヴァイサラは高分子薄膜技術に基づく新しいタイプの露点センサであるDRYCAPを発売しました。以来、DRYCAPシリーズの用途は、乾燥処理、圧縮空気、ドライチャンバーなど非常に広い範囲に広がっています。DRYCAPセンサは、特に高温と非常に乾燥した環境における信頼性の高い性能が評価されています。
当社独自の薄膜素子を使用!出力安定度が高いレーザパワーセンサのご紹介
『レーザパワーセンサ』は、レーザ光を熱起電力に変換し、 レーザ出力を測定する為の素子です。 受光面には、レーザ光を効率よく吸収する処理を施してあります。 熱起電力を発生させるサーモパイルには、当社独自の薄膜素子を使用。 また、仕様をご提示頂ければカスタム品のセンサも製作致します。 【特長】 ■出力安定度が高い ■出力リップルが低い ■受光面には、レーザ光を効率よく吸収する処理を施してある ■サーモパイルには、当社独自の薄膜素子を使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
極薄!極小!高感度!薄膜技術による独自のサーミスタ
FTサーミスタは薄膜技術によって実現したSEMITEC独自のサーミスタです。 従来のいわゆる”焼き物”の製造方法で作られるサーミスタとは一線を隔した、極薄・極小・高感度のサーミスタで、耐熱性にも優れているため様々な分野にご採用頂いています。 複写機やプリンタでは標準センサとして採用され、体温計等のヘルスケア用途でも多くの実績をあげ、更に、医療用カテーテルにも採用されています。 また、高い精度で特性のペアを得ることも可能で、これを応用した独自の赤外線非接触温度センサ(NCセンサ)の他、これまでのサーミスタの枠にとらわれない新たな活用方法も期待出来ます。 【特長】 ○超小型:1.0mm×0.5mm×t0.15mm 0.6mm×0.3mm×t0.15mm 0.6mm×0.3mm×t0.10mm ○高耐熱:Max 350℃ ○高速応答 ○高信頼性
IoT用途の3次元磁場センサの小型化に貢献
磁場を電気的に検出することのできる磁場センサは、非接触電流検出、角度・位置検知、電子コンパスなどの様々なアプリケーションに用いられて います。一般的な磁場応答素子は、ある特定の方向の磁場成分だけを検出するため、3次元空間の磁場ベクトル方向の検出には、それぞれの方向に対応する複数の素子を立体的に組み合わせる必要があります。このことが、IoT分野で急速に需要が高まる素子小型化や集積化の障害となっています。本技術は、立体構造を必要としない平面型の磁場センサの発明に関するものです。強磁性Fe-Sn薄膜の磁気抵抗効果と異常ホール効果が磁場角度依存性を示すことを利用し、薄膜各部に生じる電圧から3次元空間の磁場ベクトル方向を決定します[1]。単一の感磁層を汎用の素子加工法でパターニングするだけで、3次元磁場センサを作製することができ、他素子との回路集積に適しています。この薄膜は、室温で形成可能、かつ、磁性体特有の効果を用いたIoTデバイス[2-5]にも応用できることから、磁場センサだけでなく、機能複合化による新たな用途創出も期待できます。
「超小型」、「高速応答」、「非接触」それぞれの特長を持った温度センサ。 医療、ヘルスケア、ウエアラブルデバイスに最適です。
<体温計> ●ET-3H 従来品よりもより小型化を実現! サーミスタの特性を高精度に分類しているため、測温誤差が非常に小さいことが特長です。 ●FT-ZM SEMITEC独自の製品!他社にないサーミスタの薄膜技術化により生み出されました! 薄膜サーミスタ「FTシリーズ」の特長である「薄い」「小型」により、測温部に面接触することができ、従来の「ET-3H」よりも70%アップの高速応答性を実現しました。 <カテーテル> ●Fμセンサ 直径0.5mm、直径0.3mmの超小型センサをご用意! 薄膜技術と微細加工技術によって生み出された、小型かつ高精度なサーミスタセンサです。 薄膜サーミスタFμシリーズを開発し、小型化に加えて、サーミスタ特性を均一にするトリミング技術で高精度(特性公差±0.3%)を併せ持ちます。医療(カテーテル)用途でとして実績がある製品です。 <耳式体温計> ●サーモパイル 鼓膜から発する赤外線を検知し、非接触で体温計測をすることが可能! 「耳式体温計」をはじめ、コロナ禍において見かける額体温計に活用されています。
水素選択性に優れた本質安全防爆の光ファイバ式水素センサ
○電気を使わない本質安全防爆設計 〇1000ppm~水素にのみ選択的反応 〇無酸素、減圧環境下での使用も可能 〇市販の記録計(データロガー)と接続が容易 〇水素プローブとして既存設備に組込み+モジュール利用が容易
いつでも・どこでもガス分析、ハンディ・ガスクロマトグラフのご紹介
『ボールSAW水素ガスセンサー』のメカニズムについて解説します。 金属薄膜電極で超音波を発生。その超音波が赤道上を周回し、 感応膜のわずかな変化に反応します。 そして金属薄膜電極が超音波を受信し、わずかな信号変化を 検出することができます。 【特長】 ■超高感度 ■超高速応答 ■いつでもどこでもガス分析が可能 ■水晶球の表面振動が超微量分子を検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリーンルーム等の微風速・ラミナーフローからコンプレッサーの圧縮空気まで計測可能!
●風速計測域:0~200m/sの計測が可能 ●温度計測域:-10~140℃の環境で計測可能
灯油のヘッド圧を検知して動作。感圧面がステンレス薄膜で漏れの心配がない
灯油センサ(警報セット)は、灯油のヘッド圧を検知して動作する圧力式灯油センサです。感圧面がステンレス薄膜で漏れの心配がないため、灯油ホームタンクの油切れ防止用に20年以上前から使われています。台所にあるボイラーリモコンに油が少なくなったときに、セグメント表示をしたり音声で警報を出すなどに多く使われております。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
レーザパワーセンサ Laser Power Sensor
レーザパワーセンサは、レーザー光を熱起電力に変換し、レーザ出力を測定するための素子です。受光面には、レーザ光を効率よく吸収する処理を施してあります。熱起電力を発生させるサーモパイルには、当社独自の薄膜素子を使用しています。 *仕様をご提示頂ければ下記以外のセンサも製作いたします。 ★ 詳細な仕様は、カタログをダウンロードしてご覧頂けます ★
最適化を徹底的に施し、信頼性と測定精度を向上させた完全新型チップを搭載!
『SHT30-DIS-F』は、±2%精度のフィルター薄膜付デジタル温湿度 センサーです。 外形はDFNパッケージで実装面積は2.5×2.5mm2、高さは0.9mmに 過ぎないので、当製品は様々なアプリケーションに実装可能。 電源電圧範囲が2.15~5.5Vとワイドで、様々な信号インターフェースが 利用可能なことから、多種多様な回路的接続要求にも対応可能です。 【仕様(抜粋)】 ■標準相対湿度精度:2%RH ■動作相対湿度範囲:0-100%RH ■保護オプション:フィルター膜 ■供給電圧:2.4-5.5V ■平均供給電流:1.7uA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
アルミ製の無透過スリットを形成!薄膜エッチング加工したエンコーダ用スケール!
メルテック製スケールはモーションコントロール技術に不可欠な部品として、 産業用ロボットや位置決めサーボ、生産工場の自動化、自動車産業などの 多くの分野で採用されています。 『ポリカーボネート仕様(透過式/反射式)』は、ポリカーボネート基材に 薄膜エッチング加工をしたエンコーダ用スケールです。 ガラス製同等のスペックを低コストで提供します。 【特長】 ■ガラス製同等のスペックを低コストで提供 ■耐衝撃性に優れ割れにくい ■高精細・高精度を実現 ■高耐熱性(耐熱温度120℃) ■透過式/反射式対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サイズ(LxWxH)2.5×2.5×0.9mm!様々なアプリケーションに実装可能
『SHT31-DIS-F』は、±2%精度のフィルター薄膜付デジタル温湿度 センサーです。 電源電圧範囲が2.15~5.5Vとワイドで、様々な信号インターフェースが 利用可能なことから、多種多様な回路的接続要求にも対応可能。 複数の高度な機能および各種インターフェース(I2Cおよび電圧比例等)を 備えているので、調達量が多い用途と少ない用途のいずれにも適しています。 【仕様(抜粋)】 ■標準相対湿度精度:2%RH ■動作相対湿度範囲:0-100%RH ■応答速度(T63%):8s ■保護オプション:フィルター膜 ■供給電圧:21.5-5.5V ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。