光学薄膜設計ソフトウエア TFV
光学薄膜設計ソフトウエア TFV
反射防止膜・ミラー・各種フィルターなどの光学薄膜設計 真空蒸着装置・スパッタリング装置での光学薄膜立ち上げ など、光学薄膜に関する様々な場面でご利用いただけます。 詳しい機能の説明は、TFVホームページ をご覧ください。
- 企業：ナリー・ソフトウエア
- 価格：応相談
ソフト(薄膜) - メーカー・企業と製品の一覧 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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ソフトの製品一覧
1～30 件を表示 ／ 全 33 件
表示件数
2D分光放射計対応膜厚ソフト『SR10-FF』
SiO2薄膜の厚み測定や、ITO薄膜の厚み測定などに！膜厚演算や解析などを行います
『SR10-FF』は「SR-5000」による測定データを読み込み、膜厚演算や 解析などを行うソフトウェアです。 標準仕様では、0.5μm～15μm(0.001μm)、標準＋薄膜解析では 0.01μm～15μm(0.001μm、0.1nm)の範囲を測定可能。 その他製品に関する詳細は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【測定範囲】 ■標準仕様：0.5μm～15μm(0.001μm) ■標準＋薄膜解析：0.01μm～15μm(0.001μm、0.1nm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社システムロード
- 価格：応相談
【解析事例】薄膜ヘッドの解析
薄膜ヘッドに電流を流した場合の磁場（磁界）解析の例を示します。
薄膜ヘッドの解析の節点数は65670で、要素数は61089です。 解析条件は、磁性体の電気伝導率 5×106 [Sm-1]、磁性体の磁場特性は図に示された磁束密度と磁場の関係（B-H曲線）を用いました。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社フォトン
- 価格：応相談
イオンビーム設計ソフト
軸対称モデルを対象に、Ｅｘｃｅｌマクロを用い結果を簡単に評価します。
イオンビーム装置設計ソフト。軸対称モデルに限定だが、Ｅｘｃｅｌマクロを使い、簡単操作で結果を評価できる。電界分布、磁界分布、軌道分布を計算。空間電荷効果が考慮できる。
- 企業：株式会社ミューテック
- 価格：応相談
プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）
計算の精度が高い！装置内のプラズマ密度が、比較的低い場合のプラズマ解析を得意とするモジュール
『プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）』は、プラズマ CVD装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、機能性薄膜の 製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析ができる モジュールです。 装置内のプラズマ密度が、比較的低い（10^16[#/m3]；10^10[#/cc]程度以下） 場合のプラズマ解析を得意としており、電磁場中での電子ビーム、イオン ビームの軌道解析などといった荷電粒子挙動解析も可能です。 【特長】 ■物理モデルが比較的簡単である ■シミュレーションの際に持ち込まれている物理モデルの仮定や近似が少ない ■計算の精度が高い ■SMCMとのカップリングにより、バッファガス・ラジカル種の影響も 考慮にいれた連成シミュレーションを行うことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ペガサスソフトウェア株式会社
- 価格：応相談
dw-2000
LSIマスクレイウト設計ツール
dw-2000はWindows、Linux、Macintosh、SUN及びHPと、主要なプラットホームの全てをサポートしている唯一のマスクレイアウトツールです。もちろん各プラットホーム間のデータ共有もネイティブで可能。VB及びVCベースでのマクロ構築機能も充実しており、簡単カスタマイズによるお客様独自のインターフェース環境を構築できます。さらに日本語マニュアル標準装備、購入者への無料講習など、操作を最小限のトレーニングでマスターできます。
- 企業：株式会社メディックス
- 価格：未設定
世界の有力企業が採用する受託研究サービス【資料進呈】
先進技術と専門知識をフル活用! 材料研究開発を加速する受託サービス
・シュレーディンガーのテクノロジーを最大限に活用: サービスには､研究開発ニーズに応じた包括的なシミュレーションを実施するために必要な､計算リソース､ライセンス､作業時間がすべて含まれます。 ・プロジェクト成功のための柔軟かつカスタマイズ可能なソリューションを提供: 貴社のソフトウェアやハードウェア､計算リソースは不要です。プロジェクト期間中および終了後も､弊社エキスパートによる知識移転とトレーニングを受けられます。目的に応じたツールとソリューションを設計・提供します。 ・貴社の専門知識を､シュレーディンガーの専門力で補完: 成果物の範囲を共同で定義した上で､材料応用とデジタルシミュレーションの専門家がプロジェクトを遂行します。
- 企業：シュレーディンガー株式会社
- 価格：応相談
シミュレーションソフトウェア『PEGASUS』
真空技術、プラズマ技術、薄膜技術、微細加工技術を用いる技術者のためのシミュレーションソフトウェア！
『PEGASUS』は、装置メーカ、材料メーカそしてデバイスメーカにおいて真空技術を 利用した開発、製造に携わる技術者のためのシミュレーションソフトウェアです。 機能が異なる複数のモジュールで構成されおり、一つあるいは複数のモジュールを 組み合わせて使用することで、お客さまの要求に応じたシミュレーションを行うことができます。 IT、宇宙開発、エネルギー、半導体など幅広い産業・分野を対象としています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■装置メーカ、材料メーカそしてデバイスメーカにおいて真空技術を利用した開発、製造に携わる 技術者のためのシミュレーションソフトウェア ■真空薄膜技術で必要とされる多くのプロセスに関連するシミュレーションを行うことが可能 ■装置サイズの気相シミュレーションからミクロンサイズの基板表面シミュレーションまで行うことが可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ペガサスソフトウェア株式会社
- 価格：応相談
ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』
「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析も行っておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
【Liferay導入事例】アドバンスト・エナジー社様
サプライヤーとのコミュニケーションの改善や150万ドルの費用削減を実現した事例をご紹介！
プラズマ薄膜製造や太陽光発電に利用される電源・制御技術において 世界的なグローバル企業であるアドバンスド・エナジー社様は、当社の 「Liferay」で取引先ポータルを構築されました。 レガシー化していたSAPシステムを統合などによりデータの一元管理を実現し、 サプライヤーとのコミュニケーションの改善や150万ドルの費用削減を実現。 同社が、どのようにして課題を解決しながら取引先ポータルを構築したのか、 詳細はPDF版でお読みください。 【導入前課題】 ■コミュニケーションがサイロ化しており、取引先とのコミュニケーションや 取引先に関する重要情報の社内での連携が破綻していた ■注文の事前見積が適切に行われておらず、無駄な仕入費が生じていた ■レガシー化していたSAPシステムを統合できるソリューション探しに 苦戦していた ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：日本ライフレイ株式会社
- 価格：応相談
3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』
「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
GSolver
回折格子解析ソフトウェア
回折格子の設計等において使用される、回折格子解析ソフトウェア。 様々なタイプの格子構造解析に利用可能です。特に任意の積層ラメラ周期構造の処理に適しています。格子プロファイルや均質な等方性材料の数や種類に制限はありません。 以下のような回折構造設計において使用されます。 薄膜スタック グレーティングカプラ 反射防止格子構造 偏光子 伝送格子 反射格子 サブ波長構造 グリズム
Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析
マクロとミクロの両スケールから成膜プロセスを解析可能
株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。 「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションすることが可能です！ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
プロセス制御システム『VA PROCOS 2』
低発光強度のプラズマでも安定した測定と制御！熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成
『VA PROCOS 2』は、敏感な遷移モードにおいて、反応性スパッタプロセスを 安定化させるために特別設計されたモジュール式プロセス制御システムです。 光学発光スペクトル、カソード電圧、酸素分圧、および/またはその他の PLC信号の組み合わせによるプロセス調整に好適。 さらに、プラズマ放電の安定化、そして1つまたはそれ以上の反応性ガスの 供給を調整することによって製品特性の安定にも利用できます。 【特長】 ■製膜レートの向上 ■"アーク"イベント検出と対処の特殊処理 ■作用点の選択 ■自動オンラインバランス調整 ■熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社
- 価格：応相談
MEMS用統合解析ソフトウェア『IntelliSuite』
各種マスクデータ形式に対応！製品の迅速かつ的確な開発、改良のための設計環境を提供します
『IntelliSuite』は、半導体素子の製造工程を利用したマイクロマシン(MEMS)の 製造工程の検討から、デバイスの性能評価まで一貫して検討することを 目的とした、統合型の設計・解析ソフトウェアです。 汎用性を持たせることによる弊害の排除、数値解析におけるユーザー負担の 軽減を実現し、効率的な解析結果の取得を促すことで、MEMS開発における 負担の軽減を実現しています。 【特長】 ■専門技術間のシームレスなデータ連携を実現するソフトウェア設計環境 ■等価回路要素による高速設計機能 ■MEMS構造設計者向けデザインルールチェック ■Optical,Piezo,Sensor,RF,Bio,他の各種MEMSに対応 ■ASIC設計との連携機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社アドバンストテクノロジー
- 価格：応相談
材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』
さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア 量子力学、古典力学、メソスケールでの解析に対応
『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざまなタイプの材料に対応 材料科学や化学分野の材料の物性や挙動について 原子や分子の構造がどのように関係しているかを予測し、 物理現象を理解する際に有効 ■事例 結晶成長や薄膜形成、燃料電池、潤滑剤などの研究開発 触媒、ポリマーや混合物、金属や合金、電池や燃料電池など ■「Materials Studio Visualizer」でより快適に可視化が実現 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成、計算条件設定、計算結果表示の 全てを行うことが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）
新衝突計算法を指定することにより、平均自由行程以上のセルサイズでの計算が可能です！
『中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）』は、多数のサンプル粒子を配置し、 それらの粒子の衝突を物理モデルに従って確率的に引き起こして挙動を 追跡していくといったDSMC法（粒子モデル）を用い、いろいろな真空装置内の 希薄気体の流れ場を解析するためのモジュールです。 エッチング装置、薄膜製造装置、スパッタリング装置内の電荷を持たない 中性粒子（バッファガス、ラジカル種、スパッタリング粒子）の挙動を 解析することが可能。 また、新衝突計算法を指定することにより粘性流領域(Kn<0.01)の解析もできます。 【特長】 ■原理的には自由分子流から常圧の気体の流れ場までを解析できる ■計算量の問題から、低圧の流れ場に適用するのが有効 ■新衝突計算法(U-system)を指定することにより、平均自由行程以上の セルサイズでの計算が可能 ■PIC-MCCMやPHMとカップリングすることにより、ラジカル種やスパッタリング 粒子の挙動も（テスト粒子モンテカルロ法を用いて）高速に計算することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ペガサスソフトウェア株式会社
- 価格：応相談
高性能な計算ツールで材料開発を高精度化・迅速化【日本語資料進呈】
【日本語フライヤー】シュレーディンガーの材料科学向けプラットフォーム概要
シュレーディンガーは、高分子材料、有機エレクトロニクス、触媒と反応性、薄膜プロセス、エネルギー回収と貯蔵、医薬品製剤、消費財、金属・合金・セラミックなど、多様な材料開発のイノベーションのためのソフトウェア プラットフォームを提供しています。 広大な化合物空間の探索と分子特性の高精度予測により、新規材料の設計を迅速に行い、コスト効率をアップするよう支援します。 当資料では、材料開発向けプラットフォームの概要をご覧いただけます。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：シュレーディンガー株式会社
- 価格：応相談
有機エレクトロニクス【日本語資料進呈】
有望な候補物質を判別！デバイス最適化の条件に適合するような化合物の選定にも有用
当資料では、Schrodingerが取り扱う『Materials Science Suite』の有機エレクトロニクスや有機ELへの応用について紹介しています。 計算結果から得られる知見と理論的解釈により、有望な候補物質を判別することができ、有機発光ダイオード(Organic Light Emitting Diode(OLED))や有機半導体等の開発を効率的に行うことが可能です。 また、デバイス最適化の条件に適合するような化合物の選定にも有用です。 具体的には、密度汎関数理論(DFT)を使用して、有機EL材料開発に関係する以下のような分子プロパティを計算可能です。 ・酸化ポテンシャル ・還元ポテンシャル ・ ホール再配向(再配列、再配置)エネルギー ・電子再配向エネルギー ・3 重項エネルギ ー ・3 重項再配向エネルギー ・吸収スペクトル ・TADF S1-Tx ギャップ ・蛍光 薄膜の構造は、分子動力学法(Molecular Dynamics(MD))を使用し、実際に基盤への蒸着をシミュレーションすることによって予測することができます。基本情報へつづく↓
- 企業：シュレーディンガー株式会社
- 価格：応相談
測定技術を次のレベルへ
ハイエンド色収差共焦点センサーによる工程と品質保証の改善
生産工程の高速化ニーズに応えるには、超高速のインライン測定による データが不可欠です。 そのような技術には非接触、高精度のほか、堅牢性、高信頼性、高分解能の 3Dイメージングが求められます。 当社の「色収差共焦点センサー」なら、こうした要件を満たすことが可能です。 高性能な光学レンズを採用した当社の色収差共焦点センサーは、白色光が 光軸に沿って1点ではなく複数の距離で合焦するため、可視光のすべての 波長で焦点が合います。 この多機能な光学センサーにより、測定技術の新たな局面が開かれます。 この他にも当社では「CLS-Cラインセンサー」や「Cポイントセンサー」、 「色収差ポイントセンサー」などを取り扱っております 【特長】 ■さまざまな材料の測定が可能：透明/不透明、拡散面/反射面、吸収面など ■同軸測定によるシャドーイング効果の防止 ■広い許容確度と高NAにより反射表面で最大45°、拡散表面で>80°が可能 ■超高速マルチポイントラインセンサーによる複数点の並行測定できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：プレシテック・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈
工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能。導入後のサポートも安心。
当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 【ラインナップ／特長】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能 《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：100万円 ~ 500万円
【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いたAl薄膜作製"シミュレーション事例
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
RGBの膜厚が1回で可能！2次元膜厚計ソフト『SR10-FF』
面内の膜厚のばらつきが３D表示で可視化可能！
『SR10-FF』は「SR-5000」による測定データを読み込み、 膜厚演算や解析などを行う2次元膜厚計ソフトトウェアです。 2次元測定の為、通常複数回の測定が必要なRGBの膜厚 『SR10-FF』ですと1回で膜厚測定が可能です。 標準仕様では、0.5μm～15μm(0.001μm)、 標準＋薄膜解析では0.01μm～15μm(0.001μm、0.1nm)の範囲を測定可能。 【測定範囲】 ■標準仕様：0.5μm～15μm(0.001μm) ■標準＋薄膜解析：0.01μm～15μm(0.001μm、0.1nm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社システムロード
- 価格：応相談
【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析
「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析も行っておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション
真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト
ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算
当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能 《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、 プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：100万円 ~ 500万円
粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析
「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
半導体材料開発解析ソフト『Materials Studio』
「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフトウェア 『Materials Studio』
ツールを活用し連携する事により、より効率よく、より簡単に、 新規材料開発に役立ちます。 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 量子力学、古典力学、メソスケール、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群です。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 業界分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成、計算条件設定、計算結果表示の 全てを行うことが可能 【事例】 トライボケミカル(潤滑)反応 CFRP(炭素系素材)などの解析 結晶成長や薄膜形成、燃料電池、潤滑剤 触媒、ポリマー、混合物、金属や合金、電池や燃料電池など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部 MAIL: sales@wavefront.co.jp URL: http://www.wavefront.co.jp/
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
