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全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラー
「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系 薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。 流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類より、 ご選択頂けます。 また、液体流量コントローラー単体でも販売しています。(商品名：AutoValve) 【特長】 ■液体流量コントローラと流量計を1つのシステムに統合 ■セットした流量をモニタリングしフィードバック ■高再現性と高信頼性を実現 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精度、高速で流量制御を行います。
流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。
