更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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流動変動や衝撃に強い！半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーター
『ECN』は、接液部に全てPFAを使用した半導体薬液洗浄装置の インライン用薬液加熱ヒーターです。 ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサーを内蔵し、停電等の急な シャットダウン時の温度上昇は10℃程度で、流動変動や衝撃に強いです。 また、コンパクト設計により設置が容易なほか、電気制御は既設を 有効利用できます。 【特長】 ■接液部には全てPFAを使用 ■低温ヒーター仕様で薬液を劣化させない ■ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサー内蔵 ■流動変動や衝撃に強い ■コンパクト設計により設置が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体薬液洗浄装置のインライン用！フッ素樹脂製の薬液加熱ヒーター
『EXS』は、半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーターです。 接液部分は全てPFAを使用しており、低ワット密度の設計で長寿命。 超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能です。 また、コンパクトなので設置が容易で、縦・横に設置できます。 【特長】 ■接液部分は全てPFAを使用 ■低ワット密度の設計で長寿命 ■超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能 ■コンパクトなので設置が容易 ■縦・横に設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薬液ヒーター フランジタイプ
接液部は全てPFA樹脂で出来ている 薬液ヒーター フランジタイプ 【特徴】 取り付ける槽の昇温条件、槽寸法に合わせ設計・製作いたします
金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置をご紹介
日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の 高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いて います。 さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため 不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への 対応が可能です。 【特長】 ■加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用 ■溶出金属イオンによる汚染の心配がない ■表面保護膜不要のため、剥離による能力低下がない ■酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能 ■薬液の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度スイッチを内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
コンパクトな設計で、従来装置への組み込み、設置が容易！様々な薬液の加温装置として利用可能
当社が取り扱う『薬液ヒーター』をご紹介します。 接液部は全てフッ素樹脂を使用していますので、様々な薬液の 加温装置として利用ができ、また不純物の溶出が皆無です。 槽外での加温を行うことにより汚染トラブルを無くし、過熱警報・ ヒーター断線・液漏れ警報装置付きで高い安全性を誇ります。 【特長】 ■様々な薬液の加温装置として利用ができ、また不純物の溶出が皆無 ■槽外での加温を行うことにより汚染トラブルを無くした ■コンパクトな設計で、従来装置への組み込み、設置が容易 ■過熱警報・ヒーター断線・液漏れ警報装置付きで高い安全性を誇る ■標準タイプとして、2KW、4.5KW、7KW、10Kwをご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シリンダヒーター
液晶パネル製造などに使用する現像液、剥離液・溶剤の加熱に特化したヒーター 【特徴】 ○表面温度の均一性と安全対策に充分対処 ○表面温度のばらつきが少なく、温度劣化を起こす薬液の管理が容易になる ○安全を確保するため、アルミ鋳込みヒーターを採用し接液部に万一不具合が 発生しても、発熱体に影響が及ばない構造 ○温度劣化をおこす薬液には、安全な表面温度になるように設計 ○端子函は安全増し防爆構造に準拠 ●薬液槽との取り合いは、サニタリーフェルールを標準としていますが ご要望に合わせ、ＪＩＳフランジ、特殊フランジに対応可能です お気軽にお問い合わせ下さい
漏洩の可能性を削減する二重構造液路！高速応答を実現する薬液ヒーターをご紹介
『UFシリーズヒーター』は、応答時間が速く、高精度のプロセス制御を 実現する超純度フレキシブル薬液ヒーターです。 特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも 設置することが可能。 また、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させた ことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが できます。 【特長】 ■特許取得済加熱技術 ■トップレベルの応答時間 ■高純度液路 ■窒素パージ不要 ■液気対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター
接液部は全てＰＦＡのインラインヒーターです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命１０年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力１５０℃×０．４ＭＰａ。
酸やアルカリなどの薬液に投入して直接加熱することができる為、効率の良い昇温が可能なヒーターです。ご要望に応じて特注対応が可能です
・フッ素樹脂（PTFE）チューブが薬液の浸透を防ぎ、 ヒーターエレメントの劣化を防ぎます。 ・温度調節器との併用で優れた昇温特性を得られます。 ※本製品はPSEマーク（電気用品安全法）に対応しておりませんので、 製造工場等で高圧の受電設備を 所有し、そこで100Vや200Vに変圧した 設備向けの専用製品です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
水や油などの液体（海水・薬液）を加熱するヒーター！形も自由自在！液体類全般ご相談可能！
「投げ込みヒーター」は液体を加熱するヒーターです。 精製水・油・海水・薬液など、液体類全般可能！ 形状も自由自在なため、様々な環境に対応可能！ 素材も使用用途に合わせて変更いたします！ 決まった形がございません！お客様に合わせた製品をお作り致します！ ※用途・形状など一度ご相談くださいませ！
投げ込み型のテフロンヒーターです
お客様のご要望・仕様に合わせて設計・製作致しますので、一度お問い合わせください。
耐熱性・耐薬品性に優れており、腐食の起きやすい薬液の加温に適しています。
耐熱性・対薬品性に優れており、発熱部がテフロン・石英製のため金属イオンを嫌うメッキ槽や腐食の起きやすい薬液の加温に適しています。
石英ガラスボビン採用、石英ガラス管投げ込みヒーター
石英ガラス管投げ込みヒーターは、ヒーター外部を石英ガラス管でおおった、薬液加熱に最適なヒーターです。 薬液を加熱する際に、ヒーター線の金属溶出汚染を防止し、極めて高純度でクリーンな加熱が可能です。 また、1000℃の 耐熱特性からどのヒーターよりも高出力、高温設計が可能です。
