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最終更新日:2022年08月31日

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石英ガラスボビン採用、石英ガラス管投げ込みヒーター

石英ガラス管投げ込みヒーターは、ヒーター外部を石英ガラス管でおおった、薬液加熱に最適なヒーターです。 薬液を加熱する際に、ヒーター線の金属溶出汚染を防止し、極めて高純度でクリーンな加熱が可能です。 また、1000℃の 耐熱特性からどのヒーターよりも高出力、高温設計が可能です。

    その他半導体製造装置加工受託
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石英ガラスヒーター

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基本情報

◆二重管タイプ◆ 接液部となる石英管を二重構造にすることにより、万一石英外管に破損が生じた場合でも金属溶出汚染を防止 ◆シングル管タイプ◆ 石英ガラスの耐薬液性が高くてダメージが少ない用途には、コストパフォーマンスのある標準のシングル管タイプもあります。 ~オプション~ ◇割れ検知機◇ 二重管ヒーターは、アウターの石英ガラス管にピンホールや破損が生じた場合に備え、インナー管の割れ検知器で加熱を停止して、異常警報する事も出来ます。 方式:エアー加圧・圧力降下検出方式の繰り返し(タイマー制御) 警報:内蔵高音量ブザー、赤ランプ、外部信号出力 用力:電力100W/100V N2/DA 0.1-0.5MPa

価格情報

仕様・数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください

納期

~ 1ヶ月

用途/実績例

半導体などのウエット洗浄プロセスに最適です。

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石英投げ込みヒーター

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