半導体産業工程用フィルタ
半導体製造工程に使用される材料の精製から、デバイス製造工程に使用される材料やガスに対して幅広く高性能な商品のラインナップ
開発から生産、販売までの一貫体制を採用し、多様な製品ラインナップと高品質の技術力で、顧客のNEEDSに迅速に対応し、品質工場するフィルトレーションソリューションを提供します。 特に半導体製造工程用フィルタに対しては、最先端デバイス適用に向けた除去効率が高く、フィルタの清浄度の高いものまでご用意しております。
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フィルタ×日本コベッタ株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧
フィルタの製品一覧
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半導体産業工程用フィルタ 有機溶剤用金属不純物除去フィルタ
一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。
Iongard SL purifier イオン交換型有機溶剤向け金属除去 Nylonpolar Purifier Cobetterオリジナルの金属除去膜。表面修飾型ナイロン基膜を使用。酸を発生させないため、Lithography用材料に最適 Iongard Polar Purifier 極性有機溶剤に有効な金属除去 Cemdeion Purifier 表面修飾型テフロン基膜。最終洗浄液として使用されるIPAや、耐薬品性を要求する有機溶剤に対して使用可能
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半導体向けポリエチレンフィルタ Photopex PE
用途に応じた幅広い孔径（1nm相当の微細孔径も）と清浄度を有するポリエチレンフィルタ
Cobetter Photopexシリーズは、最先端1nm相当から5μｍ相当まで幅広い孔径を有する高Retentionのフィルタであり、半導体製造プロセスのLithography工程を初めとする厳しい要求にMeetする清浄度を有します。 この高い清浄度のため、高いShedding性能を示し、フィルタからの抽出を低減しております。 また、用途に応じて膜面積も選択することが可能であります。
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純水精密ろ過用フィルター『APPシリーズ』
ろ過効率が高いタイプで、絶対ろ過効率に近いポリプロピレンフィルターをご紹介
『APPシリーズ』は、二層膜の密度勾配構造により、より多い異物を 捕捉できるデプスプリーツフィルターです。 二次側のろ材にナノPPファイバーを採用。パーティクルに対して 非常に高いろ過効率を有し、捕捉しにくいゲル状異物に対しても 高い除去効果が期待できます。 純水・精密ケミカル品のろ過に適しています。 【特長】 ■二層膜の密度勾配構造により、より多い異物を捕捉可能 ■二次側のろ材にナノPPファイバーを採用 ■パーティクルに対して非常に高いろ過効率を有している ■捕捉しにくいゲル状異物に対しても高い除去効果が期待できる ■純水・精密ケミカル品のろ過に適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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高粘度・ゲルろ過対策フィルター『SHPシリーズ』
高粘度で不純物が多い液体のろ過に適したデプスプリーツフィルターをご紹介します
『SHPシリーズ』は、独自の多層PPナノファイバーを採用し、ゲル状の 異物を効率的に捕捉できるフィルターです。 サポート材の強度を高め、高粘度で不純物が多い液体のろ過に適しています。 「Yタイプ」はガラスファイバーを採用し、細い繊維でゲル異物を効率良く 捕捉する上に、集塵空間が広くて長寿命。 出荷前に純水洗浄処理を行うことで、クリーンなフィルターを提供します。 【特長】 ■独自の多層PPナノファイバーを採用 ■ゲル状の異物を効率的に捕捉可能 ■サポート材の強度を高めている ■「Yタイプ」は、繊維固定技術により繊維脱落が通常品より少ない ■出荷前に純水洗浄処理を行うことで、クリーンなフィルターを提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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広いろ過面積を有するフィルター『H2Dシリーズ』
耐薬品性に優れたデプスプリーツフィルター！ろ過精度の要求が高い場合にも使用可能
『H2Dシリーズ』は、先端のプリーツ技術を採用したフィルターです。 通常のフィルターよりプリーツの山数が多く、ろ過面積を大きく確保して おりますので、集塵能力が高くなり、使用寿命に優れています。 0.3umまで対応でき、ろ過精度の要求が高い場合にも使用可能。 構成材質が全てポリプロピレンになっており、耐薬品性に優れています。 バインダーと界面活性剤は一切使用しておらず、溶出物の心配がありません。 【特長】 ■先端のプリーツ技術を採用 ■通常のフィルターよりプリーツの山数が多く、ろ過面積を大きく確保 ■集塵能力が高く、使用寿命に優れている ■0.3umまで対応可能 ■バインダーと界面活性剤は一切使用していない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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低溶出対策フィルター『EPPシリーズ』
多様なろ過精度が選択可能！コストパフォーマンスに優れたデプスプリーツフィルター
『EPPシリーズ』は高純度ポリプロピレン樹脂を採用し、熱溶着技術により 接着剤を使用していない為、金属イオンの溶出量が電子産業の要求レベルを 満足しているフィルターです。 ナノファイバーろ材により、高流量と長寿命を実現。耐薬品性に優れており、 各種の酸、アルカリ、溶剤のろ過に適しています。 また、0.1μm～25μmの多様なろ過精度が選択可能です。 【特長】 ■高純度ポリプロピレン樹脂を採用 ■金属イオンの溶出量が電子産業の要求レベルを満足している ■ナノファイバーろ材により、高流量と長寿命を実現 ■コストパフォーマンス・耐薬品性に優れている ■各種の酸、アルカリ、溶剤のろ過に適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ロングライフプレフィルター『GUFシリーズ』
多様なろ過精度が選択可能なデプスフィルター！ほとんどのハウジングに使用できます
『GUFシリーズ』は独自の孔径勾配構造により、高い捕捉効率を実現し、 通常のメルトブローフィルターと比較して長寿命なフィルターです。 ロール構造の設計でフィルターのろ過効率を改善しており、普通の メルトブローフィルターより粒子捕捉力に優れています。 また「CMシリーズ」はGUFシリーズをベースに、ろ過精度を上げながら 同等の長寿命を有するタイプです。 【特長】 ■通常のメルトブローフィルターと比較して長寿命 ■0.5μm～50μmの多様なろ過精度が選択可能 ■お客様の要望に対してカスタマイズが可能 ■様々な接続口タイプにより、ほとんどのハウジングに使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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高いろ過効率のロールフィルター『RMF-CRシリーズ』
最高使用温度は80℃！2層の密度勾配構造で、デプスタイプのフィルターをご紹介します
『RMF-CRシリーズ』は、ポリプロピレンシートを巻いて製造された フィルターです。 2層の密度勾配構造により、ろ過効率が通常のメルトブローフィルターの 2倍、寿命が3倍となります。 Cobetterは、自主開発、生産、販売の一体化した産業体制を用いて、 高品質且つ多様な製品、技術でお客様のニーズを素早く対応しています。 【特長】 ■ポリプロピレンシートを巻いて製造されている ■デプスタイプ ■ろ過効率が通常のメルトブローフィルターの2倍、寿命が3倍 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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超高捕捉能力メルトブローフィルター『MBCYシリーズ』
バインダーや界面活性剤は一切不使用！溶出物の心配がないデプスフィルターをご紹介
『MBCYシリーズ』は、外側から連続的に孔径が小さくなる、超高捕捉能力 メルトブローフィルターです。 内側部分にナノファイバーを使用しますので、高い除去効率を有すると 同時に高い集塵能力を保有。 内側部分のろ過層の孔径が均一であり、微細な異物も捕捉でき、スラリー、 メッキ液、溶剤等の最終ろ過に適しています。 【特長】 ■外側から連続的に孔径が小さくなる ■内側部分にナノファイバーを使用 ■高い除去効率を有すると同時に高い集塵能力を保有 ■内側部分のろ過層の孔径が均一で、微細な異物も捕捉可能 ■スラリー、メッキ液、溶剤等の最終ろ過に適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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高純度イオン交換フィルター『IXFシリーズ』
純水中のイオン除去以外に、短時間でTOCを低下させることができるデプスフィルター
『IXFシリーズ』は、イオン交換樹脂で充填されており、純水中のイオンと イオン交換することでイオン基の除去ができるフィルターです。 短時間に純水の抵抗率を18MΩまで上げる事ができ、また異なる純化要求に 対して、多種類のイオン交換樹脂を提供することが可能。 構成部材は高純度のPP材質を採用し、粘着剤など一切使用していません。 【特長】 ■イオン交換樹脂で充填されている ■純水中のイオンとイオン交換することでイオン基の除去ができる ■短時間に純水の抵抗率を18MΩまで上げる事が可能 ■異なる純化要求に対して、多種類のイオン交換樹脂を提供可能 ■構成部材は高純度のPP材質を採用 ■粘着剤など一切使用していない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ナノレベル超高精度フィルター『HAPESシリーズ』
従来のPES膜製品に比べ、大流量と高集塵能力を持つメンブレンフィルターをご紹介！
『HAPESシリーズ』は、独自に開発した高非対称的PES膜を採用している フィルターです。 一次側から二次側へと孔径が小さくなる緻密な高非対称膜構造により、 1nmレベルまでの超高ろ過精度と長寿命を実現。 また、微細な気泡の発生を抑えることができ、ウェットエッチングや 洗浄プロセスで使用される低温ケミカル品のろ過に適しています。 【特長】 ■独自に開発した高非対称的PES膜を採用 ■一次側から二次側へと孔径が小さくなる緻密な高非対称膜構造 ■1nmレベルまでの超高ろ過精度と長寿命を実現 ■構成部材にHDPEを使用し、溶出が極めて低い ■多様な使用状況に合わせて、構成部材にPPもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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純水用PES膜フィルター『APSHAシリーズ』
弱酸性/アルカリ性流体と純水のろ過に！特長的な非対称構造のメンブレンフィルター
『APSHAシリーズ』は、親水性非対称PES膜を採用しているフィルターです。 特長的な非対称構造により、高いろ過能力と長寿命化を実現し、 ろ過システムの運用コスト削減に寄与することが可能。 弱酸性/アルカリ性流体と純水のろ過に適しています。 また、最小0.03μmのろ過グレードを有し、半導体分野の超純水ろ過に 多く使用されている「APSFJシリーズ」も取り扱っております。 【特長】 ＜共通＞ ■親水性非対称PES膜を採用 ■出荷前に全品の完全性試験と18MΩ純水洗浄処理を行う ＜APSHAシリーズ＞ ■高いろ過能力と長寿命化を実現 ■ろ過システムの運用コスト削減に寄与することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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高コスパPTFE膜フィルター『LPF/LHPFシリーズ』
電子分野のほとんどのケミカル品と、有機溶剤のろ過に適したメンブレンフィルター！
『LPF/LHPFシリーズ』は、PTFE膜を使用しており、幅広い流体に対して 耐薬品性があるフィルターです。 成型品・構成部材にPPを採用し、高いコストパフォーマンスを実現。 電子分野のほとんどのケミカル品と、有機溶剤のろ過に適しています。 「LPFシリーズ」では疎水性PTFE膜を使用し、「LHPFシリーズ」では 親水性PTFE膜を使用しております。 【特長】 ■PTFE膜を使用している ■幅広い流体に対して耐薬品性がある ■成型品・構成部材にPPを採用 ■高いコストパフォーマンスを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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溶剤ろ過用ナイロンフィルター『NY6シリーズ』
高流量を発揮！最高使用温度は50℃で最大使用差圧は0.34MPa＠25℃
『NY6シリーズ』は、正電荷を持つ天然親水性ナイロン膜を 採用しているフィルターです。 多くの有機溶剤に対する耐薬品性がありながら、高流量を発揮。 構成部材がPPとHDPEから選択できます。HDPEの使用により、溶出が 抑えられ、溶剤ベースのフォトケミカルのろ過に適しています。 【特長】 ■正電荷を持つ天然親水性ナイロン膜を採用 ■多くの有機溶剤に対する耐薬品性がある ■構成部材がPPとHDPEから選択可能 ■HDPEの使用により、溶出が抑えられる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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