CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴 【低圧コントロール】 0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 ヒステリシス:0.5%F.S. 分解能:0.2%F.S. 【クリーン】 流路部ノングリス 【保護構造IP64】 電気配線:M12コネクタ ■事例 研磨力コントロールやCMP装置など
- 企業:CKD株式会社
- 価格:応相談
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50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴 【低圧コントロール】 0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 ヒステリシス:0.5%F.S. 分解能:0.2%F.S. 【クリーン】 流路部ノングリス 【保護構造IP64】 電気配線:M12コネクタ ■事例 研磨力コントロールやCMP装置など
業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。 【高シール性】 プロセス安定化に貢献 ● 弁座部の最適設計と超精密加工 ● 弁閉動作時の2次側への漏れ(出流れ)を極限まで抑制 【高い微小流量制御性】 安定かつスムーズな動作を実現 ● 弁座部形状の最適設計 ● 微小流量でも安定制御 【ヒステリシス低減】 狙いの圧力に確実にミート ● 高品質材料の採用 ● 超精密加工
フィルタとレギュレータを一体化し、ダスト除去用5μmとタール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化しました。
エアフィルタとレギュレータを一体化、省スペース組付の簡略化が出来ます。
薬液・純水供給部の圧力変動をパイロットエアコントロールにより安定化可能。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更可能
■特 長 【高精度・高速応答】 ダイアフラム構造の高精度圧力安定性・高速応答対応。 滞留部の少ない流路構造で置換特性向上。 接液部オールフッ素樹脂で高クリーンレベル・高耐食性。 【圧力変動低減】 ダイヤフラムポンプからの脈動などを抑止可能。 生産品やレシピの違いにより遠隔で設定圧力を変更することも可能。 【小型ラインナップ追加】 接続口径1/4 、3/8 に省スペースタイプPMP002 Seriesを追加。
純水などの圧力制御用のマニュアル式レギュレータです。
■特徴 PYMシリーズ ボディステンレスを採用した空気・N2ガス・純粋用減圧弁 PMM20シリーズ 接続部 オールフッ素樹脂の純粋用減圧弁 PMM50シリーズ 純粋・温純水の大流量供給に対応された減圧弁 ※一部バリエーション販売終了、受注生産品御座います
片手で簡単圧力調整が出来るレギュレータ!
「VSRVV」は、プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。 【ワンプッシュロック】 圧力調整は片手で簡単調整。ロックはワンプッシュ。 【50%の軽量化を実現】 本体を樹脂に、金属部材質はアルミニウムを使用。当社従来品より最大50%の軽量化を実現。 【銅を不使用】 流路部にSUS、アルミ合金を使用、銅イオンを嫌う用途に最適。 【耐オゾン材料を標準使用】 特殊ニトリルゴムを採用。弁部、ダイヤフラム部には劣化防止用の耐オゾン材料を標準採用。
圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。
【デジタル表示器付】 制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載。 【モジュール接続】 フィルタ・レギュレータとモジュール接続可能。 【高精度・高応答】 リニアリティ:±0.3%F.S. ヒステリシス:0.5%F.S. 応答性:0.2sec 【プリセット入力機能】 本体に8chまでの圧力を記憶させ、外部信号で切換可能。 【ダイレクトメモリ機能】 外部からの入力信号不要。 製品の操作キーで2次側圧力を自由に調整可能。
圧力計埋め込み形でコンパクト、工具不要で圧力調整ができます。
【レギュレータのノブの上をオプション追加】 レギュレータのノブを上にして使用出来るようにする事で、使いやすさの向上を実現。設計の自由度もアップ。 【工具不要の圧力調整】 片手で圧力調整ができ、ロックはワンプッシュで可能。圧力設定時も、ノブは容易に手動操作可能。 【パネルマウントにも容易に対応】 パネルマウント用のナットをゆるめると、ナット自体がジャッキ機能となり、ノブを楽に取り外しが可能。 パネルに取り付ける時は、ナットで固定でき、またL形ブラケットを取り付ける時も同様にナットで固定可能。 【F.R.Lコンビネーション】 主要寸法の統一とオプション・バリエーションを充実し、システムアップ対応が容易に可能。