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長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：10nm）』光学分野での研究開発に最適。
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。 ※フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ ■詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。
![ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/885/2000275399/IPROS48519596292112749272.png?w=280&h=280)
検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分解能の位置決め装置です。
独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm（分解能によりラインナップが異なります。） コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。 各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。 真空対応品もラインナップしております。 真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。
【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバックステージ】で高分解能に位置決めができる。
[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能 ・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能 詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。 □ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□
