TOF-SIMSによる表面分析
TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。
■TOF-SIMS 3つの分析モード ・高分解能質量スペクトル ・深さ方向分析 ・表面の面分析
- 企業:株式会社アイテス
- 価格:応相談
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TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。
■TOF-SIMS 3つの分析モード ・高分解能質量スペクトル ・深さ方向分析 ・表面の面分析
有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介いたします
TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が 可能であり、有機物の分析にも有効です。有機物分析の例として ポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。 二次イオンマススペクトルは有機物の定性に有効な知見を得られる 場合があります。 今回の事例では、ポリエチレングリコールに特長的な繰り返し構造 (C2H4O)を質量差44のピーク群として確認できます。 質量数から計算すると、末端はH-,HO-であり、プロトン付加として 検出されていることが推測されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です!
再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。 同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を 行いました。 TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物(CH,CN)、 Na、K、が検出されました。 ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と 思われるものが確認できないが、TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が 付着していることがわかりました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラマン分光法による深さ方向への測定!多層膜の表面から各層の材料分析が可能です
当社の「顕微ラマン分光光度計」は共焦点光学系が採用されており、 顕微鏡のように深さ方向に焦点位置を変化させることで、多層膜の表面から 各層の材料分析が可能です。 顕微ラマン分光光度系の共焦点機能を用いて、ラマンレーザー光の焦点を 深さ方向に変化させることができます。 また、焦点位置を連続的に変化させれば、深さ方向に連続的にスペクトルを 取得することが可能です。 【特長】 ■共焦点光学系を採用 ■多層膜の表面から各層の材料分析が可能 ■ラマンレーザー光の焦点を深さ方向に変化させることができる ■深さ方向に連続的にスペクトルを取得することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能!分析事例もご紹介いたします
株式会社アイテスでは、XPS角度分解法による薄膜層の深さ方向分析を 行っております。 サンプルとXPSの光電子検出器との角度を変えることにより、光電子の 検出深さを変えることが可能。 これより得られたデータをシミュレーションにより数値的に解析し、 深さ方向のプロファイルに変換します。 通常のイオンエッチング法では測定が困難な表面付近nmオーダーの、 均一な薄膜の深さ方向分析を実現します。 HDD磁気面の深さ方向を分析した事例もございます。 【特長】 ■非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能 ■均一な薄膜の深さ方向分析を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
固体試料は、イオン性成分を純水に溶出!水溶液中の微量なイオン性成分を高感度に検出可能です
『イオンクロマト分析』は、水溶液中の微量なイオン性成分の 定性分析・定量分析が可能です。 イオン交換樹脂を充填したカラムを用いて分離を行い、電気伝導度を 測定することで、水溶液中の微量なイオン性成分を高感度に検出可能。 固体試料は、イオン性成分を純水に溶出させ、測定いたします。 【主なスペック】 ■陰イオン:Cl- Br- NO2- NO3- 有機酸など ■陽イオン:Li+ Na+ K+ Mg2+ Ca2+ など ■定量下限:約100ppb(イオン種による) ■検出限界:約10ppb(イオン種による) ■検出器:電気伝導度(サプレッサー仕様) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
試料に特殊な試薬を添加し、加熱することで通常では検出困難な物質の検出が可能になります!
通常の熱分解GCMSでは試料を加熱し揮発した成分を検出しますが、加熱では 揮発しない成分や検出感度の低い成分の分析は困難です。そこで試料に特殊な 試薬を添加し、加熱することで通常では検出困難な物質の検出が可能になります。 例えば、ポリマーの分析では、ポリマーを熱分解すると非常に多くの熱分解 生成物が検出され、試料によっては他の添加剤とピークが重なってしまい 解析が困難になりますが、反応熱分解GCMSを行うことでモノマーのメチル エステルを検出出来、また添加剤と切り分けて解析を行う事が出来ます。 このように、分析対象物が通常の分析では検出が難しい場合でも、反応熱 分解GCMSでは分析対象物に対して適切な試薬を選択する事によって、感度 良く検出する事が可能になります。 【事例】 ■フタル酸エステル(DIDP)の分析 ■ポリマー(ポリエチレンテレフタレート)の分析 ■銅防錆剤(BTA)の分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
似通った構造の化合物を区別して同定!プロトンの個数、構造の特長などの情報を得る事ができます
株式会社アイテスでは、フタル酸エステル類の1H NMR分析を行っております。 似通った構造の化合物を区別して同定するにはNMR分析やGCMS分析が有効です。 当分析では、積分値からプロトンの個数、ケミカルシフトから官能基など 構造の特長、またカップリングパターンやカップリング定数から周りの プロトンとの位置関係などの情報を得る事ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
NMR分析で類似分子構造の化合物を区別し、側鎖、置換基の結合位置や枝分かれ構造などを解明!
株式会社アイテスでは、フタル酸エステル類の1H NMR分析を行っております。 類似分子構造の化合物を区別し、側鎖、置換基の結合位置や 枝分かれ構造などの構造解明にNMR分析は有効な手法です。 有機合成、高分子合成において、狙った分子構造物を得られたのかの確認には 必須の分析で、 医薬品、サプリメント、食品、繊維など、その特性効果・効能は 分子団の置換基の場所や分子構造により左右されます。 もう一歩踏み込んだ有機分子構造解析を当社技能集団がご対応いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
樹脂材料を分析し、製品性能に与える特性を評価することが可能!
株式会社アイテスでは、樹脂材料(半導体 LED用途)の分析を行っております。 MOSFET、ICといった半導体製品、LEDパッケージには、エポキシ樹脂や シリコーン樹脂といった 樹脂材料が多く使用されています。 これらの特性は製品の性能に大きく寄与します。当社ではこれらの 樹脂材料を分析し、製品性能に与える特性を評価することが可能です。 【分析・評価方法】 ■DSC ■TMA ■GCMS ■SEM-EDX ■TG-DTA ■FT-IR ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
圧着端子の接合部状態や接合方法、部材の種類を調査!断面観察及びSEM/EDXによる元素分析のご紹介
『銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析』についてご紹介いたします。 抵抗測定用銅圧着端子治具の接合部について断面作製を実施し、作製した断面に ケミカルエッチングを施し、エッチング前後で金属組織を観察。 その結果、検出元素が、P(リン), Ag(銀), Cu(銅)であることから、銀入りの りん銅ロウ付け材であると推察します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
製品・素材の機能や特性、状態を解明。分析対象・目的に応じた分析手法をご提案
当社の『化学分析サービス』は、パネル製品、半導体製品、樹脂成形品など 様々な工業製品・材料を分子、原子レベルで分析し、それらの機能や特性、 状態を明らかにして、お客様の課題解決に貢献します。 分析対象の材質や分析の目的に合った分析手法の提案が可能です。 ぜひお気軽にご相談ください。 【分析内容の例】 ◎製品内の異物 ◎使用材料の状態 ◎材料の変質 ◎材料に含まれる微量成分・元素 ◎製品や材料の熱による物理特性
絶対値として質量数を検出!化合物の組成に関する情報を得る事が出来ます
当社では『MALDI-TOFMSによる顔料、ポリマー分析』を行っております。 「MALDI-TOFMS」では、顔料など不溶性であったり分子量が大きい物質の 分子量情報、合成ポリマーなどの分子量情報、末端基情報などを得る事が可能。 合成化合物の質量確認や、他の分析手法と組み合わせての構造解析など、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法(MALDI法)採用 ■化合物の組成に関する情報を得る事が出来る ■GPCに対しては小さく、LCMSに対しては大きいようなポリマーの分析に好適 ■絶対値とし て質量数が検出される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
知見とスペクトル解析力、そしてその他の分析手段など様々なアプローチで物質を特定
共重合樹脂には多くの種類がありますが、中でもABSはその特異な 分子構造により多くの製品に使用されています。 エンジニアリングプラスチックとして、電子製品、自動車、電化製品、 IT関連製品など幅広い分野で活用されているABS樹脂を、FT-IR分析を使い 特長的なIRスペクトルを考察しました。 【形状】 ■Head to tail ■Head to head ■tail to tail ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
異物の位置と異物の成分に着目!異物部の断面作製を行い、元素分析を実施しました
当社が行った、ラミネートフィルムの異物分析事例についてご紹介します。 ラミネートフィルムを裏面側より確認すると黒い異物が確認されたため、 この黒色異物について発生層の特定や成分分析を行いました。 最初に解析の目的に応じて手法を検討致します。 今回は異物の位置と異物の成分に着目し、異物部の断面作製を行い 元素分析を実施する方針となりました。 【事例概要】 ■ラミネートフィルムを裏面側より確認すると黒い異物が確認された ■黒色異物について発生層の特定や成分分析を行った ■異物部の断面作製を行い元素分析を実施した ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。