ベローズ式回転導入機
ベローズ式回転導入機
本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
導入機×入江工研株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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導入機『ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)』
基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機
『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他にも、自動式のものもご用意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。 【特長】 ■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30～200mmまで規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用しているため、超高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているので、小型・軽量 ■ベーキング温度250℃に耐える設計 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』
コンパクトタイプの直線導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。 また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、 お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10ｍｍ、15ｍｍ、20ｍｍまで規格化 ■当社ベローズ式直線導入機（ILDシリーズ）に比べ、非常にコンパクトな作り ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』
コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、 0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジCF34 CF70を規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用することで、高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているため、小型で軽量 ■回転ロック機構付 ■開度が任意に設定可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
導入機『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』
強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機
『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』は、強力な永久磁石を用いた 磁気カップリング方式の導入機構です。 真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため 高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。 直進回転導入機の他、回転導入機もご用意しているので用途に合わせて お選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応可能です。 【特長】 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能 ■オプションで回転防止機構もご用意 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
ベローズ式直線導入機
ベローズ式直線導入機
ＩＫＣの直線(直進)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直線(直進)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
磁気結合式導入機
磁気結合式導入機
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
直進導入機/回転導入機/マルチ導入機 総合カタログ
直進導入機「ベローズ式直進導入機 手動タイプ」など多数掲載！
直進導入機/回転導入機/マルチ導入機 総合カタログは、 各種金属機械製品・真空機器の設計、製造、販売などを行っている 入江工研株式会社の総合カタログです。 ベローズ式直進導入機 自動タイプ「ILD-A」をはじめ、 コンパクト回転導入機「IRC」や、磁気結合式直進回転導入機「MFL」など、 用途にあわせた幅広いラインナップを掲載しております。 【掲載内容】 ○概要 ○製品紹介 ○事例紹介 ○ラインナップ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
導入機『磁気結合式回転導入機（MFR）』
強力なマグネットを使用！磁気カップリング式の導入機
『磁気結合式回転導入機（MFR）』は、 強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入機の他にも、直進回転導入機をご用意しているので、 用途に合わせてお選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応可能です。 オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。 【特長】 ■真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用 ■ロストモーションが少ない設計 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用できる など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
