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ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出
ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ・カスタマイズ対応 ・1カセット自動検査対応 ・透明ガラス基板対応
ガラス基板、メディア表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出
ＣＣＤカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。 合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することが可能。 ・スループット ～800PPH（検査条件による） ・フットプリント 本体： (W) 1380 × (D) 1700 ×(H) 2100 mm (W) 1810:カセット受渡部を含む ＰＣラック： (W) 570 × (D) 630 × (H) 1850 mm ・クリーン度 クラス10（＠0.1μm） ・自動搬送システムに対応 検査仕様 ・対応ディスク １．８９”，２．５”，３．５” ・検査領域 内周端面を除く全域（または指定領域） ・センサ素子サイズ ７ｕｍ ・ピクセル分解能 検査領域（レンズ倍率に依存） ・レンズ倍率 １ｘ～３ｘ（検査内容に合わせて設計） ・設計事例 ２．５”ディスク、８００ＰＰＨ 検査領域 内周 ： Ｒ１０．０ ～ Ｒ１５．０（２ｘ） 外周 ： Ｒ３１．０ ～ Ｒ３２．５（３ｘ）
透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング（オプション） ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション）
高出力レーザーで微小欠陥を検出！
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約９１秒/6inch） ・PSL 50nm(オプション追加で40nm)相当の微小欠陥検出 ・欠陥の凹凸を弁別 ・SEM等での分析用にケガキ可能 ・レーザー式で検出した欠陥をリアルタイム観察可能な画像式との複合機も提案可能 ・SiCウェハ表面の欠陥検出に対応した波長355nmのレーザーも搭載可能（開発中）
レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能
透明素材にも対応する高精度検査装置
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中
ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現
■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能です。 ・AI機能も実装しており、学習を進めることで 欠陥弁別精度向上が可能です。
