ウェーハ表面検査機（VSI-01型）
ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です
・散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。 ・裏面真空吸着とし、ウェーハ表面には接触しません。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
検査装置×株式会社ジャステム - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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外観検査装置（SWL-05）
φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です
・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
外観検査装置 (OSI-01型)
φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
FPC挿入検査装置
FPCケーブルの接続状態等の検査
本装置は画像処理システムを使用し、ご指定基板に接続される FPCケーブルの接続状態等の検査をする装置です。 作業者による判定の差をなくし、安定した品質を得られます。 また、不良品の流出を抑えることが可能です。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
医薬関係検査装置（RAI-01型）
ワークの測長及び異物検査
画像処理システムを使用し、ワークの測長及び異物検査を行います。 画像処理システムからの合否判定結果によりワークを仕分けします。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
ウェハ外観検査装置 (MWL-02型)
本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う装置です
マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
