ウエハー自動洗浄装置 300mmウエハ自動洗浄装置
【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です
300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業:ジャパンクリエイト株式会社
- 価格:応相談
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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です
300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(フープ対応可)
枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(フープ対応可)。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置
本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします
本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています
本機は、バスケットに収納されたキャリヤーやボックスを精密洗浄し、乾燥するもので、ローダーから各処理工程を経て、アンローダー(乾燥部兼用)に搬出される自動洗浄装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細かく対応 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 【展示会出展情報】 SEMICON Japan 場所:東京ビッグサイト 期間:2017年12月13日~15日 小間番号:3509 東ホール
基板サイズは最大φ12インチ!当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズル使用
『CO2スプレー洗浄装置』は、真空環境での洗浄のため低露点環境で CO2洗浄ができます。 当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズルを使用。 個体CO2粒子速度と粒子密度の可変ができ、好適な洗浄条件を提案可能です。 マイクロレンズ上のパーティクル除去やスパッタ残渣除去、濡れ性改善に ご利用いただけます。 【特長】 ■当社独自ノズル:CO2ラバージェットノズル使用 ■真空環境での洗浄 ■ダメージレスドライ洗浄が可能 ■基板サイズは最大φ12インチ ■ハンディータイプのスプレーユニット販売可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作!
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。
【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能!】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。 詳しくはお問い合わせ下さい。
2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です。
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細かく対応 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。