【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年07月30日~2025年08月26日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1~8 件を表示 / 全 8 件
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射
【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術 【課題】 半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。 【解決策】 当社のアルミナ溶射により高純度被膜を生成、短納期にも対応しました。 【当社の売り】 当社のプラズマ溶射設備は、単発品や試作品への対応を得意としております。 ※ネット上には、出していない資料もございます。 詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問合せください。 ※導入事例資料はカタログのアイ・シイ・エス導入事例集からダウンロード可能です。
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸着時のシールドからの発塵を抑えることができます
■溶射材料:アルミニウム ■溶射方法:アーク溶射 ■施工効果:真空蒸着時のシールドからの発塵防止
溶射加工の事例です。
・繊維機械 ・製紙機械 ・印刷機械 ・石油化学プラント ・プラスチック製造機械 ・フィルム製造機械 ・ゴム製造機械 ・窯業・土石製品製造機械 ・製鉄機械 ・製缶機械 ・電線・ケーブル伸線機械 ・金属製品製造 ・汎用器械器具製造 ・蒸気機関・タービン・水力発電装置 ・ポンプ・圧縮機器製造機械 ・食品機械 ・紙・パルプ機械 ・フィルムコンバーティング機械 ・工作機械 ・半導体製造装置 ・ポンプ機械 ・電子機械 ・発電機械 ・内燃機関 ・プラスチック加工機械 ・自動車 ・船舶 ・航空機 ・産業用車両 ・工業用ポンプ ・生産用機械器具 ・一般産業用機械・装置 ・各種製造機械
溶射で絶縁・除電皮膜を形成! -表面処理・コーティング技術-
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 溶射皮膜で基材の表面に絶縁性・除電性を付与することが可能です。 ご希望の性能に合わせて最適な材料をご提案しますので、お気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ・希望の絶縁破壊値に合わせて皮膜厚みを選択可能 ・体積抵抗率や表面抵抗率をコントロール可能 など 【本技術のねらい】 ・各種絶縁ロール ・ベアリング ・電極部材 ・半導体製造装置部品 等 【資料掲載内容】 ●絶縁皮膜と除電皮膜(3種類) ●各種データ ・表面抵抗率 ・体積抵抗率 ・皮膜膜厚と破壊電圧の関係 ●溶射とは? ・溶射の特徴 ・溶射工程 【資料ダウンロードはこちら】 https://tocalo-download.satori.site/tpr017-00?source=ipros
溶射技術の入門資料プレゼント
溶射とは、様々な材料をエネルギーによって加熱、加速させ、それを基材に吹き付けて体積膜を形成する技術です。 溶射によって得られる機能性 耐摩耗性 耐食性 耐熱性 遮熱性 絶縁性など アイシイエスなら 1、ご要望に応じた材料を選定 2、最適なプロセスでご提案 3、徹底した品質管理 4、高品質膜な溶射コーティングのご提供 致します。
溶射・表面処理のことなら倉敷ボーリング機工株式会社へお任せください!
倉敷ボーリング機工では、溶射だけでなく前後処理(ブラスト処理、切削、研削、等)までを一貫体制で行い、短納期、高品質を実現しています。 【倉敷ボーリング機工 溶射の特長】 ■溶射だけでなく前後処理まで一貫体制 ■短納期、高品質を実現 ■13,000mm、重量50tまでの大型部材や複雑形状品も加工可能 ■研究開発スタッフによる特殊機能性を目的とした新規溶射皮膜設計 ■ISO9001に基づき、品質管理を徹底し、信頼性の高い溶射皮膜を提供 <溶射とは> 「溶かして射つ」 コーティングに用いる材料を加熱・溶融し、対象とする部材の表面に吹き付けてコーティング層(=皮膜)を形成する表面処理技術です。 産業用各種ロール、ガスタービン、エンジン部品、半導体製造装置への機能性溶射皮膜の形成など 現代社会において必要不可欠な技術です。 ※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。