【表面処理】耐プラズマ性付与 イットリア溶射
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料：イットリア ■溶射方法：プラズマ溶射 ■施工方法：耐プラズマ性付与
- 企業：富士岐工産株式会社
- 価格：応相談
溶射(半導体製造装置) - 企業3社の製品一覧
製品一覧
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【表面処理】発塵防止付与 アルミニウム溶射
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸着時のシールドからの発塵を抑えることができます
■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止
- 企業：富士岐工産株式会社
- 価格：応相談
セラミックス溶射（絶縁・除電）
溶射で絶縁・除電皮膜を形成！ -表面処理・コーティング技術-
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください！ 溶射皮膜で基材の表面に絶縁性・除電性を付与することが可能です。 ご希望の性能に合わせて最適な材料をご提案しますので、お気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ・希望の絶縁破壊値に合わせて皮膜厚みを選択可能 ・体積抵抗率や表面抵抗率をコントロール可能 など 【本技術のねらい】 ・各種絶縁ロール ・ベアリング ・電極部材 ・半導体製造装置部品 等 【資料掲載内容】 ●絶縁皮膜と除電皮膜(3種類) ●各種データ ・表面抵抗率 ・体積抵抗率 ・皮膜膜厚と破壊電圧の関係 ●溶射とは？ ・溶射の特徴 ・溶射工程
- 企業：トーカロ株式会社
- 価格：応相談
基礎から分かる溶射の入門冊子
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溶射とは、様々な材料をエネルギーによって加熱、加速させ、それを基材に吹き付けて体積膜を形成する技術です。 溶射によって得られる機能性 耐摩耗性 耐食性 耐熱性 遮熱性 絶縁性など アイシイエスなら １、ご要望に応じた材料を選定 ２、最適なプロセスでご提案 ３、徹底した品質管理 ４、高品質膜な溶射コーティングのご提供 致します。
- 企業：株式会社アイ・シイ・エス
- 価格：応相談
