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収束ビームとブロードビームの2タイプをご用意！放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用しています
『OMI-0015CKE』は、シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃です。 収束性を高めた「タイプA」は、ビーム収束レンズを2段搭載。 また、ブロードビーム型の「タイプB」は、収束レンズを1段としてコストを 抑えつつ、大電流のイオンビームを照射可能です。 どちらの機種も、漏洩磁束が少なくディスチャージコントロール性に優れた 電磁石を採用したモデルです。 【特長】 ■シンプル ■信頼性が高い ■ビーム収束レンズを2段搭載(タイプA) ■コストを抑えつつ、大電流のイオンビームを照射可能(タイプB) ■漏洩磁束が少なくディスチャージコントロール性に優れた電磁石を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ホットカソードには無い極めて低い温度、低い真空度で動作！
オメガトロンのイオン銃技術とノウハウを結集し、シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃を完成させました。 放電電極に高価なレアメタルをおごっているにもかかわらず、最適設計により部品点数を削減したため、品質をより向上させつつ販売価格を１２３万円（税抜き）とすることができました。 また、オプションのユニットをお選び頂ければ、従来のような高機能・高性能タイプにリーズナブルにステップアップすることも可能です。 中性ビーム銃に搭載の同軸型ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければセラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します。 非常にシンプルな構造のため信頼性、メンテナンス性に優れ、お客様の手間も最小限です。
高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能
当製品は、超高真空において使用可能なビームエネルギー10eVから3000eVの 減速型コールドカソードイオン銃です。 効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の 低速イオンビームを照射可能です。 フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の 為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計 ディスチャージチャンバーを採用しております。 また高効率差動排気設計によりメインチャンバーを超高真空度に保ちます。 【特長】 ■減速型コールドカソードイオン銃 ■高電流密度の低速イオンビームを照射可能 ■フィラメントがない構造は反応性ガスを使用できる ■長寿命の為メンテナンスサイクルを短くすることが可能 ■整備性に優れた新設計ディスチャージチャンバーを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ビームエネルギー10eVの低速でも200nA近くの大電流を照射することができます
『OME-0035』は、ビームエネルギー10eVから1100eVの低速型電子銃です。 ビームエネルギー10eVの低速でも200nA近くの大電流を照射可能。 試料表面の帯電中和、ガスのイオン化、二次電子発生試験などに好適です。 また、外部入力端子にパルスアンプ(オプション)を接続すれば パルス発生が可能になり、TOF用のイオン化、精密帯電試験にも 使用出来ます。 【特長】 ■ビームエネルギー：10eV～1100eV ■外部入力端子にパルスアンプを接続すればパルス発生が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能！精密素子等の加工時間を短縮します
『OMI-0850 series』は、nmオーダーの超精密加工を可能とする、 RF励起方式のイオン銃です。 大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能ですので、精密素子等の 加工時間を短縮します。独自のニュートラライザーをオプションで 搭載可能とし、絶縁物の加工も可能です。 また、IBF(Ion Beam Figuring)はもちろん、細かく収束制御されたビームは IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応できます。 【特長】 ■nmオーダーの超精密加工ができる ■RF励起方式 ■IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応 ■独自のニュートラライザーをオプションで搭載可能 ■絶縁物の加工もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
