FPC露光装置
フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置
ロールｔｏロールでピッチ送りしてドライフィルム上にパターンを焼き付ける製品群をラインアップさせています。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
露光装置×ウシオライティング株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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平行光露光装置
平行光露光装置のラインナップのご案内です。
均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
露光装置(高精度スクリーン枠露光機)
全ての感光材料に適応可能！
露光用光源を主体に、印刷（製版、刷版）、エレクトロニクス（アートワーク、露光）分野に向けて、幅広いラインアップを取り揃えています。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
マニュアル露光装置
顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量露光､自動退避までを行います｡
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
自動搬送露光装置
搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
スクリーン版用露光装置
フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。
フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。スクリーン枠装置と、PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
オート式露光装置
190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレータや使用経験に依存しない､安定した精度での露光が可能です｡
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
