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ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮できます！！
RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。
高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。
高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。
よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域
必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。
オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
MARATHON CP-8LP CRYOPUMPは、取付フランジを ANSI6“ ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。
MARATHON CP-12 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ANSI10“ ISO320又はCF14“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた取付けが行えます。
MARATHON CP-20 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO500 ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性を持っています
POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効［消費電力、冷却水量：15～70％低減可能］ ■再生・起動時間の短縮［従来に比べて半分以下(当社比)］ ■排気性能の向上［実質的なアルゴン排気容量を1.5～4倍と大幅に向上(当社比)］ ■低振動［従来に比べて約1/10以下］ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。
高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。
高品質な真空をお届けします。
多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。
