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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適！
『SHR3000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適。また、被搬送物、 装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mmから選択可能 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小径ウエハ用のクリーンロボット！
『SSCR2090Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型 クリーンロボットです。 小フットプリント化と軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及び LED製造装置等の小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化 できます。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■可搬重量はアーム第3関節換算0.1kgf以下(ワークのみ) ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット！
『STHR4000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアーム装備により、短時間でのウエハ交換が可能で主に半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しております。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは95mmと156mmの二種類 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間短縮 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！
『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm～選択可能 ■Z軸バリエーションは200mm～選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ■装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証取得しました。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
