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小型から大型グローブボックスまで対応！高性能循環精製装置
グローブボックス主室内の不活性ガスを、装置内吸着塔に充填した触媒・吸着剤により酸素・水分を除去し循環精製する装置です。 独自開発の循環ガス冷却機構の採用により、連続運転による循環ガス温度の上昇を抑え、安定した精製能力を発揮。 また、運転装置はシステム制御により安全性と省力化を重視して設計されています。 TP10S/TP20Sはグローブボックスの架台として使用可能なサイズです。 大型グローブボックスにはTP40Sが最適です。 【特長】 ■コンパクトな省エネ設計で、安定した性能を発揮 ■システム制御による運転・安全管理 ■冷却水不要の循環ガス冷却機構 ■精製能力 ＜1ppm O2、露点温度-76.5℃ ■吸着塔の自動再生運転機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アイソレータ・グローブボックスを用途に合わせて企画・設計・製作いたします。
当社では、カタログ品同等の品質や性能を維持しつつ、オーダーメイド製品のアイソレータ・グローブボックスを製作可能です。 多数の納品実績や設計ノウハウをもとに、用途に合わせた製品をご提案いたします。 【実績例：製薬設備向け大型アイソレータ】 ・W2400×H800×D550（本体外寸） ・OEL0.03μg/m3 ・Bag-in/out方式 ・防爆対応 【実績例：半導体・電池関連産業用グローブボックス】 ・W1200×H1000×D800 ・酸素濃度1ppm以下、露点温度：-70℃以下 ・不活性ガス循環精製装置付き ・脱H2S、脱有機溶媒対応 ・庫内圧力制御 【実績例：化学品生産設備向け連結グローブボックス】 ・2連結(W1000×H1500×D900)＋(W3000×H1500×D900) ・酸素濃度10ppm以下、露点温度：-40℃以下 ・庫内圧力制御 【実績例：放射線・耐薬品用グローブボックス】 ・W2400×H800×D550（本体外寸） ・パスボックス付き ・PFAコーティング
実験用の小型成膜装置。ＰＥＴ等のフィルムに成膜します。
PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。 タッチパネルによる操作で非常に簡単にご使用頂けます。 実験用に小型に設計しており、研究室等に最適です。 高品質ながら、社内一貫生産により低価格を実現しております。 お気軽にお問合せ下さい。
不活性ガス×超低露点環境(1ppm）のハイブリッド仕様を実現します！
『グローブボックス』は、～-76℃DPに露点をコントロールできるボックスです。 デジカント除湿式で水分を除去する「Desi-Cube」をはじめ、 不活性ガス置換式で酸素・水分を除去する「N-Cube」などを 取り扱っています。 当社では標準機以外でも、除湿機メーカーとして⼼臓部のローター生産から 機械設計・製造まで一貫して行ってきたノウハウを生かし、 エンクロージャー、ドライルーム等ドライ環境が必要なあらゆる段階における お客様のニーズに合わせて適したシステムを提案します。 【特長（デジカント除湿式）】 ■空気中から水分・二酸化炭素を除去し、超低露点・低二酸化炭素環境にする ■不可性ガス不使用のため、安全性が高い ■水分濃度、CO2のコントロール可能 ■ランニングコストが安い ■拡張性が高い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式
Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。
豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置
コンパクトな卓上型ALD。 半導体デバイス、有機太陽電池、ナノワイヤー、量子ドットなどへの成膜により、表面保護や改質など様々なデバイス開発にご使用いただけます。 プロセスはALD・CVDの材料開発拠点で開発されたもの。 順次レシピを増やしてゆき、新規のプロセス開発も承っております。
複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。またガスバリア性に優れた薄膜が得られます。
ALD（Atomic Layer Deposition）とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成します。 一原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。 【特徴】 ○複雑な形状の基板への成膜に最適 ○低温成膜で樹脂基板にも対応 ○ガスバリア性に優れた薄膜が得られる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
広範囲で安定した放電を実現した高出力RFイオンソースです。
広範囲で安定した放電を可能にし、光学フィルターのノンシフト膜から樹脂基板への密着性改善まで様々な用途でご使用いただけます。 放電性能においては独自のアプローチにより確実な着火と安定した放電が可能です。 【特徴】 ○ビーム電流 1500mA / ビーム電圧 1500V / イオン電流密度100μA/cm2以上の高出力イオンソース ○イオン電流密度分布±10％以下（1300、1550装置にて）の均一性をハイパワーで達成 →Sapio-1300 での測定結果。株式会社昭和真空指定条件に限る ○ニュートラライザーにオートマッチャーを採用し、 確実な着火性能と安定化を図った ○新開発コレクター電極（特許出願中）の採用により、 エミッション電流2500mAの大出力を可能にした →チャージアップによるパーティクル発生を予防する 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
効率的なサイクルタイム Cl測定によるリークチェック機能搭載
「SLS-401T」は、SMD水晶振動子を対象としたＡu/Ｓｎ用真空加熱封止装置です。 水晶用関連真空装置は、昭和真空の主力製品の1つです。 ここでいう「水晶」とは、水晶振動子、水晶発振器等、水晶を基板とした、クォーツデバイスと呼ばれている電子部品を指します。 クォーツデバイスは、非常に安定した発振周波数を有し、私たちの生活に関わるあらゆる製品に不可欠なキーデバイスとなっています。その使用用途は多岐にわたり、コンピューター、時計、自動車、携帯電話、家庭用ゲーム機、コードレス電話、CD、デジタルカメラなど、身の回りの電気製品のほとんどに利用されています。 【特徴】 ○SMD 水晶振動子を対象としたＡu/Ｓｎ用真空加熱封止装置 ○取出室にて CI 測定によるリークチェックが可能です（オプション） ○タクトタイム 0.4sec/pcs 以下 ○周波数調整装置への連結も可能（オプション） ○高温封止（450℃）対応も可能（オプション） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産にも応用
フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、 めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。 実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器 （真空チャンバー）内に充填されたアルゴン（Ar）などの不活性ガスです。 スパッタリングでは真空中にアルゴンガスを導入し、ターゲット材料にマイナスの 電圧を印加することで、蛍光灯でも使われているグロー放電を発生させます。 するとプラスの電荷を帯びてプラズマ化したアルゴンイオンは超高速（秒速約3.2km） でターゲット材料の表面に衝突し、ターゲット材料の粒子（原子・分子）を激しく 弾き飛ばします。 弾き飛んだ粒子は勢いよく基材の表面に付着し、それが堆積することで、薄膜が 形成されます。これが、スパッタリングの原理です。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能
『AFALD-8』は、複雑な三次元構造に原子レベルで膜厚制御された成膜が できる原子層堆積装置です。 ミリ秒単位で高品質な薄膜成膜が可能なため、低ダメージで安定した成膜を 実現。 操作性に優れたソフトウェアや、自由度の高いオプション構成ができます。 【特長】 ■段差被覆性 ■高精密な膜厚制御 ■ピンホールフリー ■低ダメージ ■原料コスト削減 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カスタマイズが多様！大掛かりな工事を行うことなく卓上設置可能
当社で取り扱う「グローブボックス」について、ご紹介いたします。 温度、湿度管理に加え、酸素濃度の管理も可能。 一般的でシンプルなシリーズ「810-Series」をはじめ、高薬理活性対応の 封じ込めタイプ「840-Series」、温湿度管理に特化した「890-Series」を 取り揃えております。 【仕様】 ■810-Series ・寸法：幅 1,100mm×奥行 610mm×高さ 790mm ■840-Series ・寸法：幅 1,830mm×奥行 760mm×高さ 1,220mm ■890-Series ・寸法：幅 1,400mm×奥行 890mm×高さ 970mm ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
デモ機無償貸し出し中！SiCヒーターを用いた取鍋電気加熱装置
『ELEMAX(エレマックス)』は、SiC(炭化ケイ素)ヒーターを用いた 取鍋電気加熱装置です。 エネルギーコスト低減が可能。一般的な鋳鉄1トン取鍋を内面1,000℃まで 加熱した場合、当社実験では1,700円程度を実現しました。 また、燃焼方式に見られる高温排気が無く、製造現場の作業環境の 改善に貢献します。 【特長】 ■1トンクラスまで加熱可能なデモ機の無償貸し出しが可能 ■SiCヒーターを用いた電気加熱で多彩なメリットを創出 ■エネルギーコスト低減 ■製造現場での使いやすさを追求 ■製造現場の環境改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特許取得！高線量から低線量まで、安全と効率を一体化した次世代グローブボックス
廃炉向け鉛遮へい付グローブボックス、分析用グローブボックスの設計、製作、据付工事を行いました。 このグローブボックス特徴は、高線量サンプルを取扱う際は、鉛遮へいを閉じて、マニピュレーターによる操作を行います。 一方、低線量サンプルを扱う際は、鉛遮へいを開放し、グローブ操作が可能な構造となっています。 また、今回、新たな取り組みとして、内部目視用の鉛ガラスの代わりに、複数台のカメラを設置することで、グローブボックスの内部の全面モニタリングを可能としました。 （特許取得：特許6850464「遮蔽グローブボックス」） 内部機構は、マニピュレーターと汎用ロボットの共用により、作業工程の時間の短縮化を図っています。 なお、鉛遮へい付グローブボックス内で希釈されたサンプルは、ダブルドアシステムを用いて、分析用のグローブボックスへと展開されます。
グローブボックス 『オーダーメイド製品を実現』 お客様の研究に寄り添える装置を設計・製作しています。
『グローブボックス』（弊社製品名「ピュアボックス」）は、気密性の高いステンレス製の容器にグローブを取付け、空気中で扱えない試料をグローブを使用して取扱い、作業することができる製品です。 グローブボックス・ガス循環精製装置の「製作」による環境提供はもちろん、日々装置の進化を目指し『独自の開発』に取り組んでおります。 例えば、装置自身の振動・騒音を抑えてほしいとのお客様の声より、サイレンサの独自開発を行い製品化し、お客様の装置に取付けて評価を頂いております。 他にも、音声認識機能が付いており、グローブから手を抜かずに音声で操作が可能です。音声を認識し、運転・停止ができ、操作内容・異常内容などを音声にてお知らせします。（※音声操作は、一定の操作に限ります。） 【特長】 ■会話が可能な音声認識機能つきの環境機器 ■音声を認識し、運転・停止ができる ■操作内容・異常内容などを音声にてお知らせ ■グローブから手を抜くことなく音声で操作できる ■起動内容をお知らせするので、装置の状態が離れた位置でもわかる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
