更新日： 集計期間:2025年07月23日～2025年08月19日
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業界トップクラスの基本性能
•クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能 ※ACP15は20,000時間 •パーティクルレスでクリーンな排気 •空冷式：冷却水不要 ※ACP120Gのみ水冷仕様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s ⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準モデル：クリーンプロセス用 2. Gバージョン：腐食性ガス排気用 3. CVバージョン：水蒸気排気用 4. CPバージョン：ガス循環用 5. Rバージョン：耐放射線仕様 •多彩なオプションをご用意：パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等 •単相/三相モーター選択可能
業界トップクラスの基本性能
A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計 設置面積 0.17m2 縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化 •優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長 •拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等） •ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止 •IP33、SEMI S2およびULに準拠
長年培った技術と経験を活かして、プロフェッショナルとしてお客様のご要望にお応え！
井阪産業株式会社では、『電子関連向け製品・工事』を承っております。 熟練のスタッフが自社工場でポンプのオーバーホール・洗浄(重金属可)を行う 各種ポンプO/H・洗浄をはじめ、電子工業薬品については、 高純度・機能性薬品、洗浄液、レジスト等幅広くご提供。 また、高圧ガス・真空・冷却水・排気、薬液配管等、装置立上げに関わる 付帯工事一式を行います。 【取り扱い製品(一部)】 ■各種ポンプ O/H・洗浄 ■電子工業薬品 ■真空関連製品・消耗品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
中古真空ドライポンプのことなら当社にお任せください
当社では、中古真空ドライポンプの売買を行っております。 試運転場を完備しておりますので、出荷前に動作確認をした上で、 製品の発送が可能。 また、半導体・液晶製造装置のメンテナンス及び部品販売・修理を手掛ける他、 管工事・電気工事、産業機械の販売、衛生環境システムの販売・メンテナンス、 部品洗浄など、様々な事業を展開しております。 【主要設備(一部)】 ■2tトラック(パワーゲート付き)：3台 ■4tトラック(パワーゲート付き)：1台 ■フォークリフト：2台 ■ポンプ試運転場 ■リークディテクター：1台 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
