モーター直結型高真空ドライポンプ KHFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。CEマーキング対応を標準ラインナップ。
■CEマーキング対応(04 01Bタイプ)。 ■到達圧力での連続運転可能。 ■ブレード交換が容易(KHAシリーズ比)。 ■運転真空度が高く、エゼクターの代替えや電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適。
- 企業:東栄株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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オリオン機械/真空ポンプ。CEマーキング対応を標準ラインナップ。
■CEマーキング対応(04 01Bタイプ)。 ■到達圧力での連続運転可能。 ■ブレード交換が容易(KHAシリーズ比)。 ■運転真空度が高く、エゼクターの代替えや電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適。
省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、 省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを 有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、 ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、 省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、 冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。 ●ポンプコントローラを搭載しており、 手動運転、遠隔操作が可能です。 ●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。 アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●キャスター付
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮!
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 250m3/h(SP250)、630m3/h(SP630) ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮(最高到達真空度:1Pa以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載(オプション)により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷(オプションにて水冷も可能) ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 SPガードを搭載。運転状況(振動、内部温度、背圧、等)を液晶モニターにて常時表示
ユーザーの柔軟性を備え、世界中どこででも一貫した性能を。
『nXLi』は、静音運転と小さな設置面積を実現し、コンパクトながら便利、 かつ柔軟で高性能な空冷式単相ドライポンプです。 オイルを必要としない非接触型のポンプメカニズムは、メンテナンス無しで、 オイルを廃棄する手間もかけずに、最大稼働時間を最大5年延ばします。 また、逆流防止のため排気バルブを内蔵しています。 【特長】 ■空冷式単相ドライポンプ ■性能向上されたEMC対応機種 ■インテリジェントドライブ一時的過負荷保護 ■標準として手動制御、簡易リモート制御、シリアル通信制御 ■システムビルダーによって更に多くの制御オプションが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一般産業向けのミドルレンジの真空ポンプ。実績のあるGXSをベースに、シンプルな制御設計により低いランニングコストを実現します。
EXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度450m3/hrと750m3/hrの2モデルから選択できます。 標準でインバーターが搭載されており(コントローラー無し)、モーター回転数を調整し消費電力を低減いたします。 750m3/hrのモデルでは、ブローオフバルブ機能を有しており、低真空圧近くの気体をバルブを介して排気することにより、モーターへの負荷軽減による更なる省エネ効果が期待出来ます。 <特長> ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター(特許取得)を採用 ・到達圧力 <1Pa ・ ランニングコストの低減 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減 ブローオフバルブ機能によるモーターへの負荷軽減(750m3/hrのモデルのみ) ・ パージ機能により幅広い用途に適応 ・ 高電圧仕様(380~460V) ※製品詳細は[PDFダウンロード]からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に[お問い合わせ]ください。
一般産業用の低真空領域でお使い頂けるスクロールタイプの真空ポンプです。
EDOシリーズは、スクロールタイプのドライポンプです。 真空室は、2つのスクロールで構成されており、1つが固定、もう1つが偏心状態で回転しながら、 対象ガスを閉じ込め、圧縮、排気を行い、到達圧力能力は150Paを有します。 全ての圧力帯で連続運転が可能であり、シンプル構造でお客様サイトでのメンテナンス対応も可能です。 ガスバラスト機能による高い水蒸気排気能力と、大気圧近くのモーターの負荷が高い気体をバイパスして排気させるブローオフバルブによる消費電力の低減を実現します。 モーターは空冷であり、周波数は50/60Hzに対応致します。
SEMICON Japan 2023に出展!ハーシュプロセスにおいて従来比2倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示!
★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期: 2023年12月13日(水)~15日(金) 会場: 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ:業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ:フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ:超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(最高80kPa) ※KRF15Aは最高75kPa ■常用排気圧力 推奨60kPa以下(最高70kPa) ■流量 280~685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30%アップ(当社従来比)
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 KRF04A:55kPa以下 KRF08A:推奨60kPa以下(最高75kPa) ■常用排気圧力 KRF04A:50kPa以下 KRF08A:推奨60kPa以下(最高70kPa) ■流量 75~155L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により2~5dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により20%アップ(当社従来比)
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(Vタイプ) ■常用排気圧力 推奨80kPa以下(Bタイプ) ■常用圧力 推奨真空度と排気圧力の合計で60kPa以下(V・Bタイプ) ■流量 280~685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応・RoHS指令対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30%アップ(当社従来比) 【用途】 印刷・製本機材・包装機・自動機などの真空源
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
アルミハウジング、耐久性および低騒音、低振動、小型ながら高流量を実現し、オイルフリーメンテナンスフリーです。 シリンダ-内でピストンが往復運動することによって、真空用・排気用としてご利用いただけます。
中古真空ドライポンプのことなら当社にお任せください
当社では、中古真空ドライポンプの売買を行っております。 試運転場を完備しておりますので、出荷前に動作確認をした上で、 製品の発送が可能。 また、半導体・液晶製造装置のメンテナンス及び部品販売・修理を手掛ける他、 管工事・電気工事、産業機械の販売、衛生環境システムの販売・メンテナンス、 部品洗浄など、様々な事業を展開しております。 【主要設備(一部)】 ■2tトラック(パワーゲート付き):3台 ■4tトラック(パワーゲート付き):1台 ■フォークリフト:2台 ■ポンプ試運転場 ■リークディテクター:1台 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。