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高精度、安定、低脈動の流体制御を実現
空圧式ポンプ マイクロ流体フローコントローラーOB1 MK3+はマイクロ流体チップなどに液体やガスを送液するための圧力ポンプです。 最大4チャネルの流路に-900mbarから8barの圧力送液制御を行うことができます。 OB1 MK3+はピエゾ式圧力制御や付属ソフトウェアのPIDアルゴリズムにより、他社のコントローラーよりもより速く、より安定した送液制御を提供することができます。 さらにフローセンサーまたは圧力センサーを併用することでをより精度が高い制御が可能になります。 その他、異なる複数の溶液を順次送液するためのディストリビューションバルブなどをシステムに取り込むことで、マイクロ流体チップを使用した研究、開発のアプリケーションの幅が広がります。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！0.5CCMから10LPMまでラインアップをご用意
『LC/LCRシリーズ』は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による100msの応答速度で指定流量へすばやく制御できる液体用フローコントローラーです。 希望流量を短時間で得られます。 流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。アナログ入力､通信による設定も可能。 液晶表示器を標準搭載。すばやい応答速度によりリアルタイムに流量を確認。 外部出力として0～5VDC出力およびRS-232C通信を標準搭載。 NISTトレーサブル検査成績証が標準で付属。 【対応液体】 純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン ※これらの他にも対応できる場合もございます。 【特長】 ■20msの高速応答／100msの制御応答 ■±2％F.S.の流量精度 ■0.5CCMから10LPMまで ■表示器はバックライト付き液晶 ■アナログ出力、 RS-232C通信を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
流量制御精度は±5％F.S.、応答時間は10S以下！接流体部ノングリース
当社で取り扱っている水用フローコントローラ『FC3W Series』を ご紹介いたします。 電気信号に比例して水流量を無段階に制御。上流の圧力が変わっても 各ラインの流量を一定に調整することが可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■電気信号に比例して水流量を無段階に制御 ■上流の圧力が変わっても各ラインの流量を一定に調整することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2次側圧力値と流体温度を同時に計測が可能！制御流量の流量指令値到達をお知らせ
『IN502-44/45』は、流量の自動調整が可能な空気用 フローコントローラです。 圧力センサを利用した流量換算(差圧式)と温度センサによる流量の 温度補正を採用したことで、計測と出力が可能に。 スイッチ出力「許容差モード」にて、制御流量が流量指令値に対して、 所定の許容差以内に入った場合にスイッチ出力します。 【特長】 ■制御精度 ±5％F.S. ■応答性 0.5s以下 ■設定流量に自動制御 ■導入工数の削減 ■負荷変動の影響を削減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
流量を自動調整！乾燥空気・N2・Ar・CO2の流体に適応する製品
『PFCA7 Series』は、瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で 確認できる空気用フローコントローラです。 プロセスデータにより、流量値・機器状態を容易に把握でき、 流量制御も可能。 また、カラー表示で視認性も良好。2画面表示により、人目で 状態確認ができます。 【特長】 ■レンジアビリティ 100：1 ■カラー表示・2画面表示対応 ■IO-Linkに対応 ■省スペース/配管/配線/導入工数 ■カラー表示・2画面表示対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
動作状態、エラー発生の確認可能！幅広い動作差圧範囲を実現
『PFCQ Series』は、リニアモータを内蔵し、リニアモータに 取付けられた弁体を移動することによって流れる流量を調整する 空気用フローコントローラです。 製品に流量指令信号が入力されると、内蔵の演算回路において流量センサで 計測した流量と比較演算され、その値に基づいてリニアモータを駆動し、 流量制御します。 電源がOFFのときは、リニアモータの永久磁石の吸引力で、バルブを 閉じます(ノーマルクローズ)。 【特長】 ■流量制御範囲：9～300L/min ■動作差圧範囲：0.05～0.5MPa ■設定流量への到達時間：0.5秒以下(動作差圧0.3MPa、流量設定300L/min時) ■制御精度：±3％F.S. ■ノングリース ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
