更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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コンタクト電極/SiC層の界面の相同定・元素分布評価
市販のSiCパワーMOS FET素子の解析事例をご紹介します。 SiC材料では、SiだけでなくCを含めた系での材料制御が必須となり、従来のSi半導体の製造方法と違いがあります。コンタクト電極とSiC層のオーミック接合形成プロセスにおいて、TEMを用いたEDX/EELS分析および電子回折から、Cを含めた元素分布や結晶相を評価しました。
市場で最も包括的で信頼性が高く、多目的な材料特性評価用DSC！
"研究開発、品質管理、受託試験、特定の用途のための材料仕様など、どのような業務に携わっているかに関わらず温度変化や異なる雰囲気下での材料の挙動に関する情報は重要です。 ■ 材料の同定 ■ プロセスの最適化 ■ 品質管理 ■ 相図 ■ 反応速度論解析 ■ 相溶性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。"
TOF-SIMSを用いた樹脂表面の劣化による構造解析
ポリカーボネート(PC)は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長があります。加水分解によって劣化が進み原材料のビスフェノールA（BPA）が生成されることが報告されており、特に太陽電池パネルでは、UV（紫外線）照射によって試料表面がどのように変化するかを把握することが重要です。 以下にUV照射によるPC表面の劣化度合いをTOF-SIMSを用いて評価した事例をご紹介します。
試料解体から測定まで一貫して対応します
本資料では、スマートフォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。 半導体のp/n型を判定可能なSCM（走査型静電容量顕微鏡）を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評価しました。今回、断面と平面のSCM結果を組み合わせることで、相補的かつ広範囲の情報が得られました。 SCM は、イメージセンサ拡散層の出来映え評価や故障解析に有効なツールの一つです。
前処理から発光箇所特定まで一貫解析
高電圧電源（2000Vまで印加可能）を用いることで、耐圧の高いダイオードに対してもブレークダウンを発生させることができます。 本事例では600V耐圧のSiC Schottky Diodeを動作させ、逆方向に高電圧まで印加することで、ブレークダウンを発生させました。カソード電極を研磨で除去後、エミッション顕微鏡観察を行い、ブレークダウン電流発生箇所を特定した事例をご紹介します。測定には市販品を用いています。
光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もります（式１）。
税抜き、税込みを掲載！「pH」や「電気伝導率」などを対象とした料金表
株式会社ミツバ環境ソリューションは、環境測定、調査・解析、 ISOコンサルティングの専門企業です。 当資料では『土壌及び肥料関係』の分析料金をご紹介。 対象物質は「水分」をはじめ「ヒ素（As）」や「全水銀（T-Hg）」 などです。ぜひ、ご一読ください。 【掲載項目】 ■水分 ■pH ■電気伝導率 ■全窒素（T-N） ■全炭素（T-C） ■全リン酸（P2O5） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
作物の住みよい環境について調べ、⼟壌微⽣物のDNAを網羅的に解析！
当社では、有機質肥料の施用によって増加する可給態窒素を測定・評価する 『アグリサービス』をご提供しています。 施肥量の削減を可能にし、環境保全や資源の有効活用に貢献いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【業務内容】 ■土壌分析・施肥設計・施肥対応案 ■農業用土壌分析（物理性・生物性） ■作物の栄養成分分析、残留農薬分析 ■肥料成分分析 ■JGAP認証に関わる分析各種 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
処理の違いによるSi表面のSiHや状態の定性・相対比較
Si表面についてHF処理後、オゾン処理後の状態を比較しました。 正イオンスペクトルではSiのピーク強度が異なりました。HF処理後のSi強度が弱いのはSiが金属系のためで、一方、UV-オゾン洗浄後やAs ReceivedのSi強度が強いのはSiが酸化物系のためです。 負イオンスペクトルからは、HF処理後ではSiF、SiH、Six系、UV-オゾン洗浄後やAs ReceivedではSiO2系など表面状態を反映したフラグメントイオンが検出されています。
人の健康の保護に関する項目の基準にあたる大気染物質を調査報告いたします。数多くの分析案件を手掛けております。
大気汚染防止法では、工場や事業場から排出したり、飛散する大気汚染物質について、 物質の種類ごとや施設の種類・規模ごとに排出基準等が定められています。 大気汚染物質の排出者等は、この基準を守らなければなりません。 また、大気汚染防止法だけでなく、ダイオキシン類対策特別措置法等があります。 <対象施設> ■廃棄物焼却炉 ■ボイラー ■工場からの排ガス ※基準値は施設能力、燃料等によって大きく異なるため、お問合せください。
通常のFT-IR機能に加え、微小部分の材料定性ができるため、異物(コンタミ)分析やトラブルシューティングに有効です。
本システムは、本体のFT/IR-4200および、微少部分の観察ができる顕微IRのIRT-3000-32ALから構成されています。不詳材料の定性分析、コンタミ分析、トラブルシュートにご利用ください。
アウトドアに使用されるGoPro Hero4のティアダウン
アウトドアで多数使用されるGoPro。次世代の画質と新機能を追加しHERO4で新たな世界へ。4Kレベルの高解像度、2.7K50での動画撮影、高フレームレート1080p120動画撮影が可能なHERO4 Blackを外側、内側からすべての使用部品とコストをリストアップした製品レポートのご提供します。
レーザーラマン分光分析法により物質の種類、構造、結晶性などが評価できます。
光学顕微鏡で観察し、そのまま非破壊・非接触で１μmの微小部の測定が可能です。同じ分子振動を測定する赤外線分光分析のFT-IRスペクトルとは、相補的関係にあります。固体・液体・気体の状態で測定が可能であり、例えば金属表面の極表層酸化被膜や金属内部に存在する非金属介在物の測定に有効です。
高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能
半導体の製造工程において表面改質を目的としたイオン照射を行うことがあります。その中で、単結晶 Si表面に不活性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが 知られています。 高分解能なXPSスペクトルではc(単結晶)-Siとa(アモルファス)-Siが異なったピーク形状で検出されること を利用して、この損傷由来のa-Siをc-Siと分離して定量評価した事例をご紹介します。
![[AFM-IR]AFM赤外分光分析](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/e09/2001512494/IPROS11942423150227656465.jpg?w=280&h=280)
赤外分光法は、分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。
本手法はAFMシステムと連動し計測を行う事で、試料の凹凸および機械特性分布、選択された吸収帯 での赤外吸光像（官能基分布）を同時計測することが可能です。 AFM-IRは以下の特徴があります。 ? 非常に高い空間分解能（ナノスケールオーダー）での評価が可能なため 微小領域でのスペクトル測定・イメージ測定が可能 ? FT-IRのライブラリーを使用することで同様の解析が可能
