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C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
8チャネルのSpectrum製DigitizerNETBOXがAFMの進化を推進するために必要な高い精度を提供。総合カタログ付き
イギリス・ニューカッスル大学 プレシジョンメカトロニクス研究室での 原子間力顕微鏡(AFM)の実験のアプリケーション例についてご紹介いたします。 原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope)は、材料科学における重要な ツールであり、表面の機械的スキャンに使用されます。 表面の原子とナノスコピック針の先端の間に作用する力が測定・計算され、 ナノメートルの何分の1かのオーダーの分解能が得られます。 【概要】 ■AFMテクノロジー ■高精度のマルチチャンネルデジタイザ ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載
『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、 装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、 機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。 スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、 サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、 サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。
アクティブ防振内蔵！ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応します
『CoreAFM』は、高いパフォーマンスと、どのような測定にも対応する 拡張性を兼ね備えた多機能コンパクト原子間力顕微鏡です。 トップビューカメラにより測定対象への位置合わせを容易に行うことができ、 サイドビューカメラによりカンチレバーとサンプル間の距離を目視可能。 また、カンチレバーホルダーはAFMヘッドユニットから簡単に着脱可能で、 ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄することができます。 【特長】 ■コントローラ、電源、USBケーブルの接続ですぐに使用可能 ■高分解能24bitADC/DAC ■最大走査範囲(X,Y,Z)：100μm、100μm、12μm ■Zノイズレベル：40pm RMS値 ■液中測定を含めた32の標準測定モードと数々のオプションモードを搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提案致します！
弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置をご提案致します。
初めてAFMを扱う方でも、簡単にナノスケールの動画観察が可能！
『MS-NEX』は、溶液中でサンプルをナノスケール&リアルタイムで動画観察が できるモジュールシステムの高速原子間力顕微鏡(高速AFM)です。 「今はこの機能が必要」「今はこの機能は使わない」というご要望に フレキシブルに対応。 お客様の研究テーマや進捗、ご予算に応じ、様々なモジュールを 組み合わせることで"今"にマッチした高速AFMをお使いいただけます。 【特長】 ■ナノスケール&リアルタイムで動画観察可能 ■必要に応じて各種機能を自由に組み合わせ ■後からモジュールを追加することも可能 ■様々なサポート機能を搭載 ■初めてAFMを扱う方でも簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
圧倒的な分解能を実現！今まで隠れていた微少な現象を測定
『ハンディAFM』は、SEMや高倍率の3次元光学顕微鏡の変わりに使用 することができる原子間力顕微鏡です。 サイズは、奥行き幅共に15cmの超小型。 走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの2種類が選択でき、交換も瞬時に 行えます。 【特長】 ■プローブの交換が数秒で実施可能 ■カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能 ■オプションで小型の自動ステージやインライン全自動機に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFMにより、皮膚表面におけるナノスケールの凹凸を可視化
医薬品・化粧品の有効性・安全性試験において、近年動物実験代替法の開発が進められており、中でも三次元培養皮膚による試験方法が注目されています。本事例では、化粧品（ローション剤）の経皮吸収試験を実施した三次元培養ヒト皮膚を、AFM（原子間力顕微鏡法）で測定しました。皮膚表面の微小形状を視覚的に評価でき、また、任意の箇所の粗さを数値データで評価することも可能です。大気条件下で測定することにより、真空条件下での試料変質を抑えた観察が可能です。
大気中・水溶液中での試料構造変化の可視化
高分子は組成・構造を変えることで多様な機能が発現されることが知られており、様々な製品に利用されています。 高分子の評価においては、実環境での評価が重要です。今回は環境制御型AFM（原子間力顕微鏡）を用いて、大気中および水溶液中にて基板上の高分子形状を可視化した事例を紹介します。また、データ解析を併用することでポリマー粒子の分散具合を数値化しました。
サンプル表面の形状変化をin situで評価
高分子には、温度や湿度・溶媒等の環境によって形状が変化する素材があり、評価する際の環境条件を変化させることで物性の知見を深めることができます。 今回は生分解性プラスチックで知られているポリカプロラクトン(PCL)を用いて加熱・冷却実験を行いました。ポリカプロラクトンは融点が約60℃であり、加熱により結晶状態からアモルファス状態へと変化する様子を、また冷却により再結晶化する様子を連続測定により動画観察いたしました。 測定法：AFM 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品・日用品・食品 分析目的：形状評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
粘弾性率の面内分布評価及び周波数依存性評価についてご紹介！
弊団では、PDMSのAFMによる動的粘弾性測定を承っております。 高分子材料の研究・開発において重要な要因である 力学特性を示す粘弾性挙動を調べる方法として、 動的粘弾性測定(DMA：Dynamic Mechanical Analysis)は有効な手段。 また、AFMの機構と組合せることで、 面内分布測定や局所領域での評価が可能となります。 本事例ではAFM-DMAを用いて、高分子であるPDMS(ジメチルポリシロキサン)の 粘弾性率のマッピング及び周波数依存性スペクトロスコピー評価を ご紹介いたします。 【測定法・加工法】 ■[AFM]原子間力顕微鏡法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
SEMとAFMを組み合わせた相関分析！材料表面の理解がより深化
『LiteScope 2.0』は、走査電子顕微鏡に容易に統合可能な 原子間力顕微鏡です。 SEMへの搭載は容易ですぐに使用可能、かつスタンドアロンAFM としても利用可能。 FIB、GIS、EDSやその他一般的なSEMアクセサリにも互換性が あります。 【特長】 ■SEMの機能拡張 ■非常に精密な相関イメージング ■迅速かつ容易な関心領域への位置合わせ ■サンプル汚染のリスクを排除 ■2DSEM像を3Dに拡張 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速走査かつ高分解能、原子力間顕微鏡によるイメージングを実現。空中や液体中での測定に対応。
光学顕微鏡を備えたAFMプラットフォームです。光学顕微鏡観察をしたエリアを狙い、原子間力顕微鏡によるイメージングが可能。 垂直光路設計を採用し、気液両用プローブホルダーは空気中でも液体中でも同時に使用可能。（要 液中測定オプション） ※詳しくはお問い合わせください。
老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質を実現
柔軟性、卓越した性能、使いやすい操作性を兼ね備えつつ、老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質を実現。ナノスケールのイメージングと特性評価のための幅広い機能を備えています。電気特性測定（KFM、C-AFM)、脆いサンプルも測定可能なソフトICモードも実現。
研究用から生産現場向けまで、大小様々なシステムのカスタマイズ提案が可能な原子間力顕微鏡（AFM）のご紹介
当社では、ユーザーフレンドリーな操作性に対応し、表面形状の測定を 簡単かつ短時間で行える『原子間力顕微鏡（AFM）』を取り扱っています。 アクティブ防振機構を搭載し、多彩な測定モードに対応した「CoreAFM」や、 専用ツールの使用によりカンチレバーの交換がスムーズに行える コンパクト設計の「NaioAFM」などのモデルをラインアップ。 研究現場向けの小型仕様から、生産現場向けの大型ステージ仕様、 品質管理用の自動化システムといったカスタマイズ対応が可能です。 【ラインアップ（抜粋）】 ◎卓上型原子間力顕微鏡「CoreAFM」 ■アクティブ防振機構・風防を採用 ■32種類の測定オプションを搭載可能 ◎小型原子間力顕微鏡「NaioAFM」 ■コントローラ、XYステージ・風防・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載 ※当社が取り扱う走査型プローブ顕微鏡をまとめたカタログを配布中。 詳しい内容は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。
光熱励振を用いたオフレゾナンス測定モード「WaveMode」搭載！高い安定性と性能を実現します！
『DriveAFM』は、マテリアルサイエンス・ライフサイエンス両者において 劇的に研究を加速させるハイパフォーマンス原子間力顕微鏡です。 原子分解能での高速イメージングを可能にしつつ、100μmという非常に広いスキャン範囲をカバー。液中においても高い安定性を誇ります。 「WaveMode」により20倍以上の速度でオフレゾナンス測定が可能で、1視野の撮像にかかる時間は1分以下となっています。 【特長】 ■独自技術「Direct drive」ピエゾスキャナによる広範囲かつ高分解能スキャニング ■Nanosurf社独自開発の光熱励振を用いたオフレゾナンスモード「WaveMode」 ■WaveModeはポリマーのような柔らかいサンプルにおいても有用 ■カンチレバーの光熱励振「Clean-Drive」搭載 ■DNAの周期的な二重らせん構造を明確にイメージングできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
かんたん操作でコンパクト・壊れにくい！低コストな“All-in-one”AFM装置をご紹介
『NaioAFM』は、大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、 研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したい ユーザーに好適なコンパクトタイプ原子間力顕微鏡です。 当製品特有の“Flip-over”スキャンヘッドと専用交換ツールにより、短時間に そしてシンプルに、カンチレバーの交換が可能。 機能性と操作性を両立し、どなたでも、どこでも使える“All-in-one”AFM装置 として、世界中で広くご利用いただいております。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載、場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加搭載が可能 ■シンプルなカンチレバー交換：レーザや検出器の調整不要 ■設置後すぐに測定可能：USBケーブルを接続しソフトウエアを立ち上げるだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お客様のご要望に合わせたカスタマイズAFMシステムを設計・構築します！
AFM測定を行う必要があるが、サンプルが大きく特別な取り扱いが必要だったり、従来の技術や方法とは異なる実験が必要ではありませんか？ 私たちはお客様のニーズを真摯に受け止め、お客様と一緒に解決策を考えます。 弊社 日本カンタム・デザインではメーカーであるNanosurf社（スイス）の装置開発チームとの密な連携により、お客様のご要望に合わせたシステムを設計・構築します。 表面測定に関するお困りごとやご要望点がございましたら、お気軽にお問い合わせください！
何処にでも連れて行ける奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭ
原子間力顕微鏡「ハンディＡＦＭ」は、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡
原子間力顕微鏡「ステージ付ＡＦＭ」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 ・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能 ・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能
大気中の分析により変質を抑えた定量評価が可能
毛髪表面にあるキューティクルの状態を、AFMにより解析した事例をご紹介します。 AFM は、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。大気中で分析を行うため、有機物の変質や脱ガスなどを起こさず、試料本来の形状を評価可能です。本事例では、キューティクルの開き具合や付着物成分の分布、領域ごとの粗さ評価を画像で評価した他、数値処理により定量的に凹凸を評価しました。シャンプー後の毛髪の状態評価や、整髪料を塗布後の塗布状態の評価に有効です。
AFM :原子間力顕微鏡法
AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。 本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。
デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価
近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は、素子の高集積化に必要であり、SiCデバイスへの応用展開が進められています。 Trench MOSFET構造のチャネル領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM（原子間力顕微鏡）を用いて定量的に評価した例を紹介します。
食感を機械特性パラメータで定量化
食感を決める因子には、硬さ、凝着力など様々な要素があります。一般的に、食品の食感はテクスチャーアナライザー等による応力の評価で行いますが、微小領域の測定や薄い試料の測定は困難です。 AFM-MAは表面の凹凸の形状の評価に加え、機械特性の硬さを表すヤング率、質感のパラメータの凝着力、および、エネルギー散逸のデータを微小領域で計測することが可能です。このため、食感等に関係する物理特性を極微小な領域で評価するために有効です。
AFMによるステップ-テラス構造の可視化
ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを成長させる際、支持基板との格子不整合などによる応力の影響で、表面にステップ-テラス構造が形成されます。本資料ではAFMを用いて、GaN基板表面のステップ-テラスの構造を可視化し、テラス幅、ステップ高さ、表面粗さ、オフ角を評価した事例を紹介します。 測定法：AFM 製品分野：パワーデバイス、 電子部品、 照明 分析目的：形状評価、 構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
ソフトマテリアル内部構造の弾性率評価が可能です
物質の内部構造の評価にあたっては、切削や研磨等の断面加工技術により内部構造を保ったまま露出させることが求められます。本資料では加工ダメージの影響が比較的小さなミクロトーム法を用いて毛髪断面を作製し、内部構造のAFM観察、および弾性率評価を行った事例を紹介します。 ミクロトーム法はゴム材料や生体試料等のソフトマテリアル分野で幅広く用いられている切削加工技術であり、本アプローチによってこれらの材料に対して内部構造の機械特性評価が可能となりました。 【測定法・加工法】 ［AFM］原子間力顕微鏡法 ［AFM-MA・AFM-DMA］機械特性評価（弾性率測定・動的粘弾性率測定) ウルトラミクロトーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
最高レベルのナノスケール解像度で信頼あるデータを提供する原子間力顕微鏡
『Park NX10』は、サンプルのセッティングからイメージング、測定、 解析に至るまですべての段階において簡単に操作することができる 原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品なら、ユーザーはより多くの時間と、より優れたデータを基盤に 革新的な研究に集中することができます。 【特長】 ■クロストーク除去によるボーイングの無い正確なXYスキャン ■低ノイズZ検出器を使った正確なAFMトポグラフィー ■真のノンコンタクト(TM)モードによる最高クラスのチップ寿命、分解能 およびサンプルの保護 ■半導体/ポリマー/電池材料や炭素系材料などさまざまな材料の表面解析を ナノオーダーで解析(※イメージギャラリー参照) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール
『Park NX20』は、パワー、汎用性、操作の容易性を芸術的に組み合わせた 大型試料用の原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的な ソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。 また、真のノンコンタクト(TM)モードのスキャンによって、チップがより鋭く、 かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。 【研究およびFAラボにおける大型試料用AFMを使ったソリューション】 ■メディア、基盤用の表面ラフネス計測 ■欠陥検査イメージングと解析 ■高解分解能電気特性測定モード ■3D構造解析における側壁計測 ■低ノイズZ検出器を備えた正確なAFM形状イメージング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
