バイポーラ電源およびMF電源
スパッタリング、プラズマCVD、各種コーティングで活躍するバイポーラ電源とMF電源
トルンプのバイポーラ電源およびMF電源は、幅広い出力範囲と高度な異常放電抑制の技術『ArcManagement』により、難度の高い反応性プロセスにおける高い成膜レートと高品質のコーティングの実現をサポートします。 従来MF電源が利用されていた50kW未満の出力範囲では、現在バイポーラ電源が広く代替利用されており、コンパクトなサイズから省スペース化が図れる点も好評です。
- 企業:トルンプ株式会社
- 価格:応相談