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ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います
創意工夫を大切にし、時流に流されない研究開発を続けるナノテックが 取り扱う『各種真空成膜装置』をご紹介します。 当社では、ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置の カスタマイズ製作を行います。 HIPIMS法による成膜を行う「ICF成膜装置」をはじめ、半導体プラズマ洗浄用 プラズマエッチング装置「NAPE500」などをご用意しております。 【ラインアップ】 ■ICF成膜装置 ■プラズマエッチング装置「NAPE500」 ■パルスバイアス実験装置「ICF330」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特殊イオン源を使用した装置で高耐久性ICFを成膜させ、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜！
圧粉成形離型コーティングとは、従来面圧が高いと剥離していたDLC膜と比較して、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜です。 圧粉成形加工時に上下杵への粉付着を防止し、鏡面性を維持します。この被膜は高面圧化での摩擦係数が低く、バインダーを含む粉末が杵へ付着することを防ぎます。 高い荷重が加わっても、剥離しににく、耐久性と耐摩耗性に優れており、密着力も高く安定した性能を発揮いたします。 より詳しい情報はお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
薄膜の膜厚、光学定数などの物質特性を精度良く測定！自動薄膜計測装置
『DLC Analyzer』は、プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範囲の 単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、 光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を精度良く測定します。 DLCの国際標準化を推進しているNDF DLC規格化委員会において、 分類における標準試験機として使用しています。 【特長】 ■薄膜の膜厚、光学定数などの物質特性を精度良く測定 ■オーダーメイドのDLC標準片をご提供 ■DLC規格化委員会の分類における標準試験機として使用 ■最小25×60μmのスポットサイズを標準で装備 ■MyAutoViewにより試料上のスポット位置を確認しながら、測定位置を決定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
