大型ガントリータイプXYステージ
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社ファインディバイス
- 価格:応相談
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ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります!
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。