更新日： 集計期間:2026年02月25日～2026年03月24日
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顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット
自動XYステージの移動範囲は100ｍｍ×100ｍｍ。 高精度ステージを搭載した測定ユニットです。 ステージ制御をＰＣで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。 検出器の取付板を大きく設計しあらゆる検出器に対応（スペーサ別途）します。 検出器の上下の微調範囲は25ｍｍとなります。
繰り返し位置決め精度±0.5μm！動作時の真直性に優れ、柔軟なカスタムに対応
『XYステージ』は、分析・検査装置への組込に適した 高精度ロングストロークです。 部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、 補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能。 ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、 納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことができます。 当社で取り付けての納入も対応しております。 【特長】 ■真直度の高い再現性 ■特殊測定による信頼性向上 ■配線作業の利便性向上 ■柔軟なカスタム対応 ■様々な特殊測定を承っている ・測定器はロータリーエンコーダ、オートコリメータ等、多数取り揃え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。
防振・除振・免振・防音のヘルツ株式会社
ヘルツ株式会社は昭和54年（1979年）12月、4個の軟式テニスボールから当社のすべてのパッシブ型空気ばね式防振台の原型となった、卓上型空気ばね式防振台を誕生させました。 21世紀の測定環境に対応する防振や防音の技術開発を絶え間なく続け、科学技術の発展に貢献し続けています。
ＺＡ－３００Ｌは、垂直テーブル面を縦方向に移動する大型ステージです。
駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて移動させる粗動型ステージです。移動量は２２３ｍｍとなります。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学定盤へ接続が可能です。テーブル面にはポール・アングル部品の接続が可能です。
当社自動ステージ群の製品を組合せリニアスケールを用いてフルクローズ制御位置決めを可能にしました。特注品にも対応いたします。
位置決め装置を総合的にアドバイスし、御客様のニーズに会わせた製品を構築する会社です。 設計、製作、検査、納入まで一環した製品作りに取組みかゆいところに手が届く小回りのきく対応が出来ます。
タテ、ヨコ400μmエリアの位置決をフル微動制御で実現！
400マイクロメートル×400マクロメートルのエリアが フル微動制御でスムーズな位置決めを実現した『ナノXYステージ』のご案内です。 【特長】 ・ナノ単位の位置決め精度 ・高速応答 ・高真空中で作動可能 ・省電力 ・振動ノイズが無いスムーズな動き ・コンパクト ※その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
ビーム安制御・レーザー加工・光学などのアプリケーションに最適。リニアエンコーダによる非接触の直接位置計測が可能
※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ： ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量： < 1 μrad 再現性： < 2 μrad リファレンス精度： ≤ 50 μrad リニアリティ： < 0.2 % ステップ応答： < 20 ms（荷重等による） ミラー最大直径：1インチ 最大荷重：20g OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。
正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします
シグマテック株式会社は、埼玉県飯能市にある、精密位置検出器の製造 および販売や精密位置決め機器の製造および販売等を行っている会社です。 光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、独自のフィードバック 回路を搭載した「高分解能フィードバックステージシステム」をはじめ、 「真空対応フィードバックステージシステム」などを取り扱っております。 【事業内容】 ■精密位置検出器の製造および販売 ■精密位置測定器の製造および販売 ■精密位置決め機器の製造および販売 ■前略号に付随する一切の業務 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
１／１０００℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により、１／１００℃の高精度温度制御を実現
１．小型・高精度 ①１／１０００℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回 路により、１／１００℃の高精度温度制御を実現しまし た。 ②高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル で小型です。 ③通常のＰＩＤ制御の他にオーバーシュート抑制制御が追 加され、オーバーシュートを０．１℃に抑えました。 ２．多機能 煩わしいＰＩＤ定数設定を省くためのオートチューニング 機能を標準装備、また異常検出機能も多数装備。 ３．汎用性 ①センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使えます ②新駆動回路の採用により、５Ⅴ～２４Ⅴと広範囲なペル チェ電圧に対応することができます。 ③パソコンとのインターフェイスを利用し、種々の温調シ ステムを構築できます。
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm。XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s。コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作を実現しています。 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 非接触式の光学式リニアエンコーダにより、プラットフォーム上で位置を直接かつ高精度に測定します。非線形性、機械的バックラッシュ、弾性変形の影響を受けません。 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
位置ずれを防ぐ、高精度セルフロックステージ
電子部品製造においては、精密な位置決めが求められます。ミラック光学の「セルフロックステージ SLXシリーズ」は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 精密部品の検査・測定 - 自動化ラインにおける位置決め - 高精度な加工工程 - 長時間固定が必要な用途 【導入の効果】 - 位置ずれによる製品不良の防止 - 作業効率の向上 - 精密な位置決めによる加工精度の向上 - 検査・測定の精度向上
校正作業の効率化と精度向上に貢献するXYステージ
計測機器業界における校正作業では、高精度な位置決めが不可欠です。測定器の正確な校正には、微小な動きを正確に制御できるステージが求められます。位置精度の低いステージでは、校正結果に誤差が生じ、製品の品質に影響を与える可能性があります。V-P01は、リニアモータ駆動により、±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションを実現し、校正作業の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密測定器の校正 ・センサのキャリブレーション ・検査装置の位置決め 【導入の効果】 ・校正作業の効率化 ・校正精度の向上 ・製品品質の安定化
最大30kgの耐荷重と±0.1µm再現性を両立した高精度6軸制御
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。
レンズ調整の精度と効率を向上させるXYステージ
光学業界のレンズ調整においては、高精度な位置決めと安定性が求められます。レンズの性能を最大限に引き出すためには、ミクロン単位での微調整が不可欠です。位置ずれは、画像の歪みや解像度の低下を引き起こし、製品の品質に直接影響します。V-P01は、リニアモータ駆動により、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・レンズ研磨・組立工程 ・光学測定器 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・高速・高加速度による作業効率アップ ・安定した動作による歩留まり向上
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
光学業界では、レンズやミラーなどの精密な位置調整が、システムの性能を左右します。特に、微小な調整が求められる場面では、高精度な位置決め能力が不可欠です。調整の精度が低いと、光軸のずれや焦点のズレが生じ、システムの性能低下につながります。U-723は、小型ながら22mmの動作量と10nmの分解能を実現し、光学系の精密な位置調整を可能にします。 【活用シーン】 ・顕微鏡の対物レンズ調整 ・レーザー加工機の光軸調整 ・光学測定器のサンプル位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる光学性能の向上 ・省スペース化による装置全体の小型化 ・電源OFF時の位置保持による安全性の向上
