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イオンプレーティング装置×株式会社昭和真空 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

SIA-400Tは、工具・刃物・金型等への「表面硬化膜」及び、「装飾膜」に最適なホロカソードタイプを、さらにバージョンアップしたアーク放電タイプ(蒸発源表面上にアーク放電を発生させ、溶解・蒸着・イオン化という過程を経て膜形成)を採用した装置です。 【特徴】 ○ムダを極力少なくし、処理量の確保をはかった ○1バッチごとの蒸発源の補給が不要 ○基板取付けを容易にした担当者にやさしい装置 ○本装置で成膜したTiNの密着強度70N以上 ○蒸発源をかえればほとんどの金属の成膜が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他半導体製造装置

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ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400T

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400Tは、アクセサリーなどの装飾膜成膜、工具の硬化膜成膜に最適です。 導入ガス(N2、O2、C2H2)の量、及び種類を変えることにより、成膜色を変える事が可能。 【特徴】 ○工具の硬化膜成膜用に最適 ○タッチパネル操作による成膜レシピ制御が可能 ○少量生産機・実験機として最適 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他半導体製造装置

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イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。 同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。 内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。 イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。 【特徴】 ○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極(2式)を搭載している ○イオンプレーティング機構が付属している ○治具台車を2式標準装備している ○冷凍機の搭載によりH2Oに対する排気スピードが向上している 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他半導体製造装置

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