ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。
ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400Tは、アクセサリーなどの装飾膜成膜、工具の硬化膜成膜に最適です。 導入ガス（N2、O2、C2H2）の量、及び種類を変えることにより、成膜色を変える事が可能。 【特徴】 ○工具の硬化膜成膜用に最適 ○タッチパネル操作による成膜レシピ制御が可能 ○少量生産機・実験機として最適 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○真空槽 Φ400 × H500mm ○蒸発源 HCD/Gun 水冷ハース 電源 ○ワーク保持機構 自公転治具 or 公転治具 ○ワーク加熱ヒーター シースヒーター ○測定系 ピラニー真空計 ペニング真空計 ○排気系 複合分子ポンプ 油回転ポンプ ○バイアス電源 100V-10A ○ボンバード電源 500V-1A ○ガス導入系 4系統 【所要諸元】 ○サイズ 本機：約W1340 × D1120 × H1938 ○重量 本機：約1000kg ○所要電力 3Φ AC200V 約29kVA（84A） ○所要水量 約1.6m3/h（約27l/min） 差圧 0.2MPa以上 ○所要圧空 約0.5MPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
表面硬化膜・装飾膜 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード![[ホロカソード式イオンプレーティング装置] SIH-400T](https://image.mono.ipros.com/public/catalog/image/01/e14/315439/IPROS75288870495931013228.jpeg?w=120&h=170)
企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。