ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。
SIA-400Tは、工具・刃物・金型等への「表面硬化膜」及び、「装飾膜」に最適なホロカソードタイプを、さらにバージョンアップしたアーク放電タイプ（蒸発源表面上にアーク放電を発生させ、溶解・蒸着・イオン化という過程を経て膜形成）を採用した装置です。 【特徴】 ○ムダを極力少なくし、処理量の確保をはかった ○1バッチごとの蒸発源の補給が不要 ○基板取付けを容易にした担当者にやさしい装置 ○本装置で成膜したTiNの密着強度70N以上 ○蒸発源をかえればほとんどの金属の成膜が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2500Å/min(Tin 100A) ○蒸発電源／10kw ○油回転ポンプ／D-950DK ○高真空ポンプ／TS-440 ○所要水量／18ℓ/min ○所要圧空／0.5MPa以上 ○所要電力／27KVA ○床面積本機／約1300W×1000D×2040H ○床面積操作盤／約565W×800D×1600H ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。