ウエハ移載機
ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機
●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプションとして静電気除去装置も準備してます。
- 企業：大宮工業株式会社 営業本部営業課
- 価格：応相談
ウェハ移載機 - 企業4社の製品一覧
製品一覧
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ウエハ移載機
ウエハ移載機
薄物ウエハ（150μｍ）対応可能なウエハ移載機。 ■特長 １．通常厚から薄物ウエハまで幅広く対応することが出来る。 ２．低価格にてご提供することが出来る。 ３．高スループット。 ４．対象ウエハは、５、６、８、インチウエハ。 ５．豊富な装置バリエーション。(２〜４キャリアまで対応可能） ６．ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供。 ７．ID読取り対応。（Semiフォント/２次元コード他） ８．生産管理システムとの上位通信。
- 企業：レイリサーチ株式会社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
ウエハ移載機（ウエハソーター）
ウエハ移載機（ウエハソーター）
本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
- 企業：株式会社リバティー
- 価格：応相談
マニュアル ウェハ移載器
ウェハメーカーのキャリアからプロセスキャリアへの移載が手動にて容易に行えます。
プッシュスライドタイプで、ほぼ全てのキャリアに対応しています。特殊キャリアの場合はご相談ください。 6インチと8インチは兼用のタイプもございます。 アルミ製、PVC製その他対応致します。 傾斜型の移載器もございます。 その他特殊品も対応致しますのでお問合わせください。
- 企業：株式会社エボルシオン
- 価格：応相談
ウエハ移載機
ウエハ移載機
従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。 ■特長 ・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・検査ユニットとのドッキングが可能です。 ・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応可能です。 ・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。
- 企業：レイリサーチ株式会社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
ウエハ移載機（ウエハソーター）
ウエハ移載機（ウエハソーター）
本装置は、4ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
- 企業：株式会社リバティー
- 価格：応相談
FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）
FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
- 企業：株式会社リバティー
- 価格：応相談
