ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＸ
ノンパターン透明・半透明ウェーハ表面パーティクル装置の標準機！
シリコンウェーハだけでなく、ダブルポリッシュの透明ウェーハ、シングルサイドポリッシュの半透明ウェーハ（裏面梨地ウェーハ）も測定可能。 自動搬送仕様とマニュアル搬送仕様が選択できます。 顕微鏡観察オプションで測定後レビューができます。
- 企業：株式会社山梨技術工房
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
パーティクルスキャナ - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＸーＤＣ
次世代パワー半導体ウェーハSiC/GaN用パーティクル検査装置
ノンパターンSiCバルクウェーハ 0.1μm検出。 微小スクラッチ検出。 SiCやGaNウェーハの洗浄確認に最適です。 自動搬送とマニュアル搬送が選択できます。 顕微鏡観察機能で測定後のレビューができます。
- 企業：株式会社山梨技術工房
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
部品清浄度検査用パーティクルスキャナ『Micro Quick』
簡単なスキャニングシステム！２.５分でメンブレン分析、レポート作成も可能
『Micro Quick』は、25цm以上の粒子面積・幅・長さ・粒子数測定できる 部品清浄度検査用パーティクルスキャナです。 自動車・精密機械部品のコンタミを捕集したメンブレンフィルタをスキャナーにセットすると、わずか2.5分で粒子分析し、そのデータをISO16232およびVDA19に基づいた粒子径・粒子数・分類を結果報告します。 小型精密化されている部品で重要なのは、粒子のサイズ・個数、そして形状と分類を解析することです。当製品は、ISO16232およびVDA19で標準化された部品異物検査を簡単にスタートできます。 【特長】 ■国際基準ISO16232（自動車：部品清浄度の検査）の粒子計数法（サイズと個数） ■結果報告は自動でカンタンレポート作成 ■自動スキャン、自動解析のため、誰がやっても同じ結果がでる ■VDA19（ドイツ自動車工業会規格）にもMicroQuick運用を記載 ■多くの自動車会社や流体回路を製造している部品メーカーで採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社インテクノス・ジャパン
- 価格：応相談
ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＮ
デバイス開発やウェーハ洗浄チェックに最適な小型・省スペースの卓上パーティクル検査装置！
ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。 マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。 ラボや装置横への設置も簡単です。 シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。
- 企業：株式会社山梨技術工房
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
