ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＸ
ノンパターン透明・半透明ウェーハ表面パーティクル装置の標準機！
シリコンウェーハだけでなく、ダブルポリッシュの透明ウェーハ、シングルサイドポリッシュの半透明ウェーハ（裏面梨地ウェーハ）も測定可能。 自動搬送仕様とマニュアル搬送仕様が選択できます。 顕微鏡観察オプションで測定後レビューができます。
- 企業：株式会社山梨技術工房
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
パーティクルスキャナ×株式会社山梨技術工房 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＸーＤＣ
次世代パワー半導体ウェーハSiC/GaN用パーティクル検査装置
ノンパターンSiCバルクウェーハ 0.1μm検出。 微小スクラッチ検出。 SiCやGaNウェーハの洗浄確認に最適です。 自動搬送とマニュアル搬送が選択できます。 顕微鏡観察機能で測定後のレビューができます。
- 企業：株式会社山梨技術工房
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＮ
デバイス開発やウェーハ洗浄チェックに最適な小型・省スペースの卓上パーティクル検査装置！
ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。 マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。 ラボや装置横への設置も簡単です。 シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。
- 企業：株式会社山梨技術工房
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
