≪特許取得済の新技術≫高速局所加工できるマイクロプラズマ加工技術
【比較資料を無料進呈】深堀平坦加工や局所加工の効率化を実現！局所化プラズマ技術を応用した局所プラズマ加工装置もご紹介！
三友製作所は新たなマイクロプラズマ加工技術の開発に成功しました。 当社が開発したマイクロプラズマ加工では、 プラズマ密度を高くしながらも、プラズマ径を小さくしているため、 高速加工とマスクレス局所加工の両方を可能にするスポットプラズマ技術です。 局所化プラズマにより深堀平坦加工や局所加工が可能となり、 半導体故障解析用試料の前処理時間の大幅な短縮を実現します！ この技術を応用した局所プラズマ加工装置では、 反応生成物を直接排気できるので加工残渣の低減を可能とし、 さらに、基板表面にプロセスガスを吹き付けずに局所加工が行えます。 【進呈資料】 ■プラズマ源の比較資料（スポットプラズマの紹介） ■局所プラズマ加工装置の紹介資料 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※特許の詳細もPDF資料をご覧ください。
- 企業：株式会社三友製作所 テクノセンタ
- 価格：応相談
