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最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
耐環境性の必要な加熱工程に最適！サイズ、カバー構造、温度までカスタマイズ可能です
「PA3020-WPF型」は最高温度300℃対応で、配線部が防水構造ですので、耐環境性の優れるホットプレートです。 防水構造+焼結体吸着構造のホットチャックです。吸着部は、焼結体の他、積層金網構造でのホットチャックにも対応いたします。 装置内組み込みタイププレートOEM対応いたします。 ＊具体的な環境など、ご提示いただけましたらカスタムにも対応いたします！ ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
吸着部はセラミック焼結体で、フィルム状ワークの加熱を精密に行えます。
防水・セラミック焼結体ホットチャック「PA2012-WPFC型」は、フィルム形状のサンプル加熱工程に最適です。 微細な焼結体により、高温でのフィルムチャッキングを行います サイズ、カバー構造、温度までカスタマイズ可能。 貴社の加熱工程への組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。 【特徴】 ○最高温度 200℃対応 ○配線部が防水構造で、耐環境性に優れている ○防水構造+セラミック焼結体吸着構造のホットチャック ○吸着部はセラミック焼結体で、フィルム状ワークの加熱を精密に行える ○装置内組み込みタイププレートOEM対応可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。
ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。 サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。 貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。 【特徴】 ○最高温度 400℃ 対応 ○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能 ○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え ○OEM対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
小型ウエハチャック、高精度制御！！室温-200℃まで！
半導体ウエハの加熱プロセスに。 各種評価用テーブルとして、お手持ちに装置にインターフェースを合わせます。
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能！
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。最高温度は300℃ 対応可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。手動簡易XYステージとの組合せにより、検査ステーションを低予算で構築できます。 MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御も可能です。OEM対応もいたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
チャッキング（吸着）パターンは、ワークに合わせたカスタマイズ対応！
「PJ-050型」は電子デバイス、ウエハの温度試験用ホットチャック1台で低温から高温まで対応します。 温度範囲は-10~+150℃まで対応いたします。 既存の評価・試験装置にも増設可能、少量品、研究開発に最適です。 加熱源にヒータ、冷却源にペルチェ（空冷）を採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 AC100V電源で、冷却・加熱が可能です。温度コントローラーは、専用タイプにより1台で冷却・加熱対応です。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
低温から高温まで対応！電子デバイス、ウエハの温度試験用に最適です
「PJ-101型」は・既存の評価・試験装置にも増設可能、少量品、研究開発に最適なウエハホットチャック(加熱・冷却)です。 加熱源にヒータ、冷却源にペルチェ（空冷）を採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。AC100V電源で、冷却・加熱が可能です。 温度コントローラーは、専用タイプにより1台で冷却・加熱 対応です。チャッキング（吸着）パターンは、ワークに合わせたカスタマイズにも対応します。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
耐環境性の必要な加熱工程に最適！サイズ、カバー構造、温度までカスタマイズ可能
「PA3020-WPFC型」は、最高温度300℃対応で配線部が、防水構造ですので、耐環境性の優れるホットプレートです。 防水構造+焼結体吸着構造のホットチャックです。吸着部は、焼結体の他、積層金網構造でのホットチャックにも対応いたします。装置内組み込みタイププレートOEM対応いたします。 ＊具体的な環境など、ご提示いただけましたらカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101T」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など 極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101TIN」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
耐環境性の必要な加熱工程に！サイズ、カバー構造、温度までカスタマイズ可能
防水・セラミック焼結体ホットチャック「PA2020-WPFC」は、・防水構造+セラミック焼結体吸着構造のホットチャックです。 配線部が、防水構造ですので、耐環境性の優れるホットプレートです。 具体的な環境など、ご提示いただけましたらカスタム対応いたします。 【特徴】 ○最高温度 200℃ 対応 ○吸着部は、セラミック焼結体の他、積層金網構造でのホットチャックにも対応 ○装置内組み込みタイププレートOEM対応可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
