サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能！
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。最高温度は300℃ 対応可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。手動簡易XYステージとの組合せにより、検査ステーションを低予算で構築できます。 MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御も可能です。OEM対応もいたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○チャック面サイズ：6”サイズ ○温度精度：±1.0% ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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納期
用途／実績例
ウエハホットチャック
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企業情報
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