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貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101T」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など 極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101TIN」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。
ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。 サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。 貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。 【特徴】 ○最高温度 400℃ 対応 ○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能 ○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え ○OEM対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能！
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。最高温度は300℃ 対応可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。手動簡易XYステージとの組合せにより、検査ステーションを低予算で構築できます。 MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御も可能です。OEM対応もいたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
