マスフローコントローラ(制御) - 企業と製品の一覧

多様なガスやエアーの流量を確実に制御するマスフローコントローラ！

ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御できます！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)も対応！

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける”マスフローコントローラの（MFC）のご提案です！ ●ご使用条件に合わせて校正し出荷しますので、納品後すぐ使用可能！ ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入 ●小流量から大流量まで（例えば2500Nl/min(N2)まで）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内）【ビュルケルトならでは＆IoT世代】 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！

企業：ビュルケルトジャパン株式会社
価格：応相談

流量制御

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低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対応！低コスト化も実現可能なドイツ発IoT時代のMFC

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！【1台で何役もこなします！】 ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内） ●最新機種では最大流量2500L/minクラスも！【簡単導入＆直ぐにご使用可能です！】 ●校正済みで出荷されるため、設定不要＆調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入【ビュルケルトならでは＆IoT世代】 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！

企業：ビュルケルトジャパン株式会社
価格：応相談

流量制御

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低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

企業：株式会社リンテック東京営業所
価格：10万円 ~ 50万円

配管材
真空機器
流量制御

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ALICAT OEM供給用小型ローコストマスフローコントローラー

BASISシリーズ！対応ガスはAirを含めて8種類。

ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。 ■100msの制御応答・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。 ■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載・0-5VDC入力による制御流量の設定が可能です。・また現在流量を0-5VDCで出力。ロガーなどによる記録が可能。・RS-485を標準搭載。PLCなどによる一括監視が可能です。

企業：日本スターテクノ株式会社
価格：応相談

その他計測・記録・測定器

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マスフローコントローラー、Alicat社

100msの制御応答、±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度、アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載

★ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 ★流量変化にすばやく追従。高速制御応答により希望の流量を短時間で得ることができます。 ★流量設定はフロントスイッチ操作のほか、アナログ入力、 RS-232C通信による設定も可能です。 ★質量流量 0-5VDC 出力を標準搭載。0-10VDC、1-5VDC、4-20mADCのご指定も可能です。また追加でアナログ第2出力も可能です。 ★微少の 0.5SCCM タイプから大流量の 5000SLPM タイプまで幅広くラインナップ。 ★混合ガスを含め98種類のガスが1台で制御が可能です。ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単に行えます。詳しくはお問い合わせいただくかカタログをダウンロードください。

企業：ジャパンコントロールス「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社東京本社
価格：応相談

流量制御
その他プロセス制御

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マスフローコントローラ EL-FLOW Classic

OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ

EL-FLOW Classicシリーズ　デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air N2 H2 O2 He Ar CO CO2 N2O CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。

企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
価格：応相談

その他計測・記録・測定器
流量計

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サーマル式マスフローコントローラ　EL-FLOW Base

コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、新しいマスフローコントローラ。

EL-FLOW Baseシリーズ　マスフローコントローラはブロンコストの最新の技術を取り入れつつ、標準的な機能に絞り込んで価格を抑えた低価格モデルです。特にOEM向けに開発されたファーストレスポンス・マスフローコントローラです。一般的なガスへの用途では正確な計器と安定した制御を提供します。 EL-FLOW Baseは特にOEM装置への設置などにおいて大変経済的なコストソリューションを提供しています。これまでのF-201CB F-201ABに加え、最大流量200 ln/min AirのF-202BBが加わりました。詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
価格：応相談

その他計測・記録・測定器
流量計

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マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。主要なガス制御アプリケーションに適しています。⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、優れた制御性を発揮します。【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社ＩＢＳ
価格：応相談

バルブ

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mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
価格：応相談

流量計
流量制御

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Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MFM

既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能（コンバータ付RS-232通信機能）と複数用意されている診断およびアラーム機能を活用し、迅速に操作パラメータを入手できます。

企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
価格：応相談

CVD装置
スパッタリング装置
エッチング装置

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CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応！

●CANOpenに対応したMFC ●高速応答（最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内） ●10[ml/min]～1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ ●保護等級IP65

企業：ビュルケルトジャパン株式会社
価格：10万円 ~ 50万円

流量制御

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マスフローコントローラー『1000シリーズ』

スタート時のオーバーシュートを抑制！低価格の高性能ガス流量制御器

『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化したアナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野でご使用頂けます。また、流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単な表示設定器付専用電源「PA01」もご用意しております。【特長】 ■低価格 ■コンパクトサイズ ■スタート時のオーバーシュートを抑制 ■バルブ型式：ノーマルオープン ■流量制御範囲：5～100％F.S. ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社グリーンテック大阪本社
価格：応相談

その他プロセス制御

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気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：ITWジャパン株式会社
価格：応相談

流量計
流量制御

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Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ（MFC）と素早く簡単に交換できます。

企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
価格：応相談

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mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ　※ナノ学会出展

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 ★ナノ学会第16回大会に出展します！日時：2018年5月10日（木）～12日（土）会場：東京大学浅野キャンパス武田先端知ビル武田ホール 5F ぜひこの機会にお越しください。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
価格：応相談

流量計
流量制御

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マスフローコントローラ(制御) - 企業と製品の一覧

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