高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
モーターステージ(xy軸) - メーカー・企業と製品の一覧
モーターステージの製品一覧
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『ピエゾモーターステージ』
X、XY、XYZ、θ等、数多く取揃え！モーターに対応するコントローラーも提供
『ピエゾモーターステージ』は、オーテックスが取り扱うNANOS社の製品です。 ナノスインストゥルメンツ社は、ピエゾモーター社のピエゾモーターを 利用し、各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作しています。 ユーザーアプリケーションに必要なX、XY、XYZ、θ等、数多くの 品数を揃え、オープンループはもちろん、エンコーダーを組み込んだ クローズドループタイプにも対応しています。 【特長】 ■各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作 ■X、XY、XYZ、θ等、数多くの品数をラインアップ ■オープンループやクローズドループタイプにも対応 ■モーターに対応するコントローラーもご提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：オーテックス株式会社
- 価格：応相談
高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：THKプレシジョン株式会社
- 価格：応相談
