位相シフタ―
複数台数のRF電源出力位相を一定制御します
1 つの基準位相信号に対し2 台のRF 電源、整合器の負荷電圧位相を制御するもので、各々位相をオープンループ（フィードフォワード制御）、クローズドループ（フィードバック制御）に選択して制御することが可能です。 ・オープンループ（フィードフォワード制御） 位相をRF電源側で測定しコントロールするものです。 一般的な位相シフターは、この方式を取っています。 ・クローズドループ（フィードバック制御） 位相をよりプラズマに近い箇所すなわち整合器出力端で測定しフィードバックするものです。 従来方式と比較し、より正確な位相のコントロールが可能です。 仕様 NXE－03B－2P ＡＣ入力 85～240V 50/60Hz 50VA 基準周波数 13.56MHｚ±0.005％ 位相制御範囲 0～359° 位相測定精度 ±5°全位相範囲にて 入力ダイナミックレンジ 最小入力レベル3dＢm 最大入力レベル23dＢm
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：10万円 ~ 50万円
