MEMS用SOI基板 製作サービス
SOIウェーハ在庫は常に1000種以上!在庫SOIウェーハは1枚から承ります
当社では、MEMS向けに特化した各種構造体をご提供いたします。 主に3インチから300mmまでのSOI基板や、ダブル活性層のSOI基板など 特殊SOIの製作を行っております。また、常に1000種以上のSOIウェーハ 在庫があり、在庫SOIウェーハは1枚から承ります。 【仕様】 ■活性層:0.1μm~200μm ■埋め込み酸化膜:~4μm程度 ■支持基板:100μm~(ウェーハサイズによる) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社マイクロセミコンダクターリサーチ
- 価格:応相談